[发明专利]一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵

权利要求书

1.一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，包括：主壳(4)、盖板(1)、侧板(3)、毛细芯(5)、回液管(6)、出气管(7)；

主壳(4)包括上下两部分，上部为储液腔，下部沿纵向设置若干毛细芯安装通孔，毛细芯安装通孔顶部与储液腔连通，在储液腔底部形成并排的若干弧形凹槽，各毛细芯安装通孔底部沿周向设置若干条蒸汽槽道；毛细芯(5)安装在主壳(4)的各个通孔中，毛细芯(5)顶部与储液腔中的液态工质接触；

盖板(1)安装在主壳(4)上端面，侧板(3)安装在主壳(4)下部的两侧面；回液管(6)安装在主壳(4)上部的侧面，出气管(7)与充装管(2)分别安装在主壳(4)下部两侧的侧板(3)上；

所述蒸汽槽道的形状为Ω形或矩形或燕尾形槽道，蒸汽槽道的分布范围小于毛细芯安装通孔侧壁面积的1/2；

在启动前，储液腔中的液体工质浸润毛细芯(5)，主壳(4)的底板贴合热源，热源的热量从主壳(4)的底板通蒸汽槽道侧壁传到毛细芯(5)表面，毛细芯(5)表面的液态工质受热气化，毛细芯(5)产生毛细驱动力，推动气体沿出气管(7)进入冷凝器中放热液化，液态的工质沿回液管(6)流回主壳(4)上部的储液腔中。

2.根据权利要求1所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，盖板(1)、侧板(3)、回液管(6)、出气管(7)、充装管(2)与主壳(4)之间通过焊接方式安装。

3.根据权利要求1或2所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述主壳(4)下部设置的毛细芯安装通孔数量≥5个。

4.根据权利要求3所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述毛细芯(5)上部三分之一的弧形侧面暴露在储液腔中。

5.根据权利要求4所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述毛细芯(5)的长度大于主壳(4)上部储液腔的长度。

6.根据权利要求5所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述侧板(3)与毛细芯(5)的端面之间留有空隙，形成气体空腔。

7.根据权利要求6所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述毛细芯(5)由氮化硅粉末、烧结助剂以及造孔剂烧结成型，氮化硅质量含量不少于98％。

8.根据权利要求7所述的一种氮化硅毛细芯矩形平板毛细泵，其特征在于，所述毛细芯(5)内部微孔的有效孔径在0.5μm～15μm之间，微孔相互连通，孔隙率大于50％。