[发明专利]一种晶圆表面贴黏胶膜设备

权利要求书

1.一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其结构包括设备箱(1)、减震支座(2)、施工盖(3)、载物盘(4)、控制键(5)，所述设备箱(1)下端与减震支座(2)螺旋连接，所述施工盖(3)与设备箱(1)上端铰接连接，所述设备箱(1)表面与载物盘(4)嵌套配合，所述载物盘(4)前端与控制键(5)间隙配合，所述施工盖(3)与减震支座(2)上端间隙配合，其特征在于：

所述设备箱(1)包括粘胶器(11)、减震台(12)、箱体(13)、施工箱(14)，所述粘胶器(11)与减震台(12)表面活动配合，所述减震台(12)下端与箱体(13)内部嵌固连接，所述箱体(13)左侧与施工箱(14)侧端焊接连接，所述施工箱(14)与粘胶器(11)两侧活动配合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其特征在于：所述粘胶器(11)包括胶辊(111)、滑载块(112)、辊套(113)、驱动泵(114)、输送绳(115)、滑轨(116)，所述胶辊(111)与辊套(113)内部嵌套连接，所述辊套(113)顶部与驱动泵(114)螺栓固定，所述驱动泵(114)与输送绳(115)顶端间隙配合，所述输送绳(115)与胶辊(111)内部活动配合，所述胶辊(111)两侧与滑载块(112)嵌套连接，所述滑载块(112)与滑轨(116)表面滑动配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其特征在于：所述胶辊(111)包括固定杆(a1)、填胶孔(a2)、辊体(a3)、溢胶条(a4)、抚平块(a5)，所述固定杆(a1)两侧与填胶孔(a2)嵌套连接，所述填胶孔(a2)与辊体(a3)两侧嵌套连接，所述辊体(a3)表面与抚平块(a5)嵌套连接，所述抚平块(a5)两侧与溢胶条(a4)两侧活动配合，所述溢胶条(a4)与辊体(a3)表面嵌固连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其特征在于：所述减震台(12)包括上载板(121)、减压器(122)、防脱折杆(123)、下支板(124)、支撑座(125)，所述上载板(121)下端与减压器(122)卡合连接，所述减压器(122)下端与下支板(124)上端卡合连接，所述下支板(124)两侧与防脱折杆(123)螺栓固定，所述防脱折杆(123)内侧与支撑座(125)间隙配合，所述支撑座(125)上端与下支板(124)嵌套连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其特征在于：所述减压器(122)包括气压囊(b1)、固定盘(b2)、限制块(b3)、套管(b4)、减震器(b5)，所述气压囊(b1)两侧与限制块(b3)卡合连接，所述限制块(b3)外端与套管(b4)间隙配合，所述套管(b4)内部与减震器(b5)嵌套连接，所述减震器(b5)与固定盘(b2)内部活动配合。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆表面贴黏胶膜设备，其特征在于：所述减震器(b5)包括拉绳(b51)、卡块(b52)、挤压球(b53)、折叠架(b54)、弹簧条(b55)，所述拉绳(b51)两端与折叠架(b54)嵌固连接，所述折叠架(b54)内壁与卡块(b52)嵌固连接，所述卡块(b52)与挤压球(b53)表面活动卡合，所述挤压球(b53)与折叠架(b54)表面间隙配合，所述折叠架(b54)外壁与弹簧条(b55)嵌套连接。