[发明专利]Topcon电池的光注入钝化方法

说明书

一种Topcon电池的光注入钝化方法，属于Topcon太阳能电池技术领域。Topcon电池的光注入钝化方法包括：对金属化后的Topcon电池进行光注入并辅以加热以实现钝化，光注入的辐射强度为2～10suns，光注入的时间为100～300s。加热过程包括加热阶段、降温阶段和保温阶段，加热阶段包括将Topcon电池加热至表面温度为第一温度，降温阶段包括将Topcon电池的表面温度从第一温度降至第二温度，保温阶段为Topcon电池在第二温度进行保温，第一温度为300～650℃，第二温度为200～250℃。该方法能够有效地提升Topcon电池的转换效率。

技术领域

本申请涉及Topcon太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种Topcon电池的光注入钝化方法。

背景技术

Topcon电池是在电池背面制作一层隧穿氧化层和掺杂多晶硅层，隧穿氧化层和掺杂多晶硅层两层共同形成钝化接触结构，该结构为硅片背面提供了良好的表面钝化。隧穿氧化层可以使电子隧穿进入掺杂多晶硅层同时阻挡空穴复合，进而电子在多晶硅层横向传输被金属收集，从而极大地降低了金属接触复合电流，提升电池的开路电压和短路电流。

现有技术中，通常采用电注入的方式实现Topcon电池的H钝化，即将Topcon电池片置于电注入设备后在各个工位通以电流以达到电注入钝化效果。但是，申请人在研究中发现，Topcon电池在采用电注入钝化过程中容易出现效率提升不稳定的问题。

发明内容

本申请提供了一种Topcon电池的光注入钝化方法，其能够有效地提升Topcon电池的转换效率。

本申请的实施例是这样实现的：

本申请实施例提供一种Topcon电池的光注入钝化方法，包括：

对金属化后的Topcon电池进行光注入并辅以加热以实现钝化，光注入的辐射强度为2～10suns，光注入的时间为100～300s；

加热过程包括加热阶段、降温阶段和保温阶段，加热阶段包括将Topcon电池加热至表面温度为第一温度，降温阶段包括将Topcon电池的表面温度从第一温度降至第二温度，保温阶段为Topcon电池在第二温度进行保温，第一温度为300～650℃，第二温度为200～250℃。

本申请实施例的Topcon电池的光注入钝化方法的有益效果包括：

在加热阶段和降温阶段，温度起主要作用，在第一温度为300～650℃的条件下，能够充分将Topcon电池中背膜中的H离子激活；在保温阶段，光注入起主要作用，在200～250℃的温度条件下，通过光注入的高能量使得激活的H离子从背膜迁移到多晶硅层中，使得晶体硅和多晶硅之间的悬挂键能够被激活的H离子饱和，完成界面钝化。经申请人研究发现，在光注入的辐射强度为2～10suns，光注入时间为100～300s时，配合本申请实施例的整个加热过程的温度调节，能够较大地提升Topcon电池的表面钝化效果，有效地提升Topcon电池的转换效率。

具体实施方式

下面将结合实施例对本申请的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本申请，而不应视为限制本申请的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。

Topcon电池的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层两层共同形成钝化接触结构，该结构为硅片背面提供了良好的表面钝化。现有技术中，通常采用电注入的方式实现Topcon电池的H钝化，但是，申请人在研究中发现，Topcon电池在采用电注入钝化过程中容易出现效率提升不稳定的问题。