[发明专利]延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法在审
| 申请号： | 202110081610.9 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112921282A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 萧吉宏;李涛;连重炎;刘林;卢海江 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 延长 硫化 镉靶材 使用寿命 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法，其特征在于：采用四根硫化镉平面靶材进行直流溅射，假设四根硫化镉平面靶材的溅射总功率为p，第一根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4-1/2p，第二根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4-1/2p，第三根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6-1/4p，第四根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6-1/4p。
2.根据权利要求1所述的延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法，其特征在于：第一根硫化镉平面靶材的溅射功率为3/10p，第二根硫化镉平面靶材的溅射功率为3/10p，第三根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/5p，第四根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/5p；即四根硫化镉平面靶材的溅射功率比为1.5:1.5:1:1。
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