[发明专利]双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法及系统

权利要求书

1.双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，在钢网基片上的微钢球上沉积生长一层聚合物薄膜；

S2，通过移动平台将机器视觉焦点定位在微钢球薄膜表面；

S3，将球冠薄膜从微钢球上整体切割下来；

S4，通过棉签轻擦将切割后的球冠薄膜从微钢球上剥离；

S5，将剥落下来的球冠薄膜平放在载玻片上，利用飞秒激光对球冠边缘进行修饰加工。

2.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述S1具体包括：在钢网基片上阵列固定直径为500微米的微钢球，然后在微钢球上沉积生长一层厚度为50微米的聚合物薄膜。

3.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述S2具体包括：将钢网基片固定在加工平台上，利用三维移动平台将机器视觉焦点定位在球顶表面中心。

4.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述S3具体包括：整体切割的目标是将球冠薄膜从微球上切割下来，且为了边缘修饰的二次加工有缩进尺寸，切割时的加工直径设为0.44毫米，球冠目标直径为0.42毫米。

5.根据权利要求4所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述切割加工采用的是飞秒激光，所述飞秒激光采用基频光，激光中心波长1028nm，激光重复频率200kHz，脉宽190fs，激光功率500mW，激光衰减通过率100％，每个加工点的脉冲数16，加工速率为1mm/s。

6.根据权利要求5所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，为减少球冠边缘附着的残留物，用低功率的激光对切割边缘进行热效应冲击驱散处理，具体地，将激光衰减到10％，激光有效作用直径将减小为3微米，重复加工一遍。

7.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述S4具体包括：取样时，用蘸有酒精的棉签从侧边绕圈轻擦切割加工后的薄膜样品。

8.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述S5具体包括：将剥落下来的球冠薄膜水超声清洗，烘干后转移到载玻片上，准备做边缘修饰的二次加工。

9.根据权利要求1所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述修饰加工具体包括：采用衰减通过率10％的低功率激光对边缘进行修饰加工，从外圈向内圈缩进，加工直径由440微米梯度缩减到420微米，缩进梯度为5微米。

10.双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述系统用于实施如权利要求1至9任一项所述的双锥对撞点火中聚合物球冠的飞秒激光加工方法。