[发明专利]一种兼具可视化和红外热成像功能的微流控芯片实验平台

权利要求书

1.一种兼具可视化和红外热成像功能的微流控芯片实验平台，其特征在于，所述实验平台包括单晶硅-玻璃微流控芯片、耐压夹具、冷热台、相差显微镜、热成像仪和固定支架，单晶硅-玻璃微流控芯片与耐压夹具相连，耐压夹具固定在冷热台上，所述冷热台与固定支架连接，相差显微镜通过固定支架固定在所述单晶硅-玻璃微流控芯片正上方，热成像仪通过固定支架固定在冷热台正下方，所述相差显微镜、单晶硅-玻璃微流控芯片和热成像仪的成像通路保持在同一条铅垂线上。

2.根据权利要求1所述的一种兼具可视化和红外热成像功能的微流控芯片实验平台，其特征在于：所述单晶硅-玻璃微流控芯片由一块厚度为0.5mm的硅基板和一块0.5mm厚的玻璃基板阳极键合而成，所述玻璃基板设置在硅基板上方。

3.根据权利要求2所述的一种兼具可视化和红外热成像功能的微流控芯片实验平台，其特征在于：所述单晶硅-玻璃微流控芯片包括进液口、入口通道、第一入口匀流区、第二入口匀流区、芯片主体非均质区、第一出口匀流区、第二出口匀流区、出口通道和出液口。

4.根据权利要求3所述的一种兼具可视化和红外热成像功能的微流控芯片实验平台，其特征在于：所述进液口、入口通道、第一入口匀流区、第二入口匀流区、芯片主体非均质区、第一出口匀流区、第二出口匀流区、出口通道和出液口均蚀刻于下层硅基板。