[发明专利]一种晶圆涂膜设备

说明书

本发明公开了一种晶圆涂膜设备，其结构包括储存箱、按钮、显示器、输膜器，所述按钮安装在储存箱左侧，所述显示器嵌设于储存箱前侧，所述输膜器两端分别通过焊接连接于储存箱背面与储存箱顶部，本发明的有益效果在于：将晶圆放置在支撑块上，在支撑簧的推力下使夹板将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落，同时移动杆受夹板的挤压使得顶块向外张开至压板紧贴于夹板表面，避免夹板在夹持晶圆时晃动导致涂膜不均，晶圆外表面向外挤压夹板，在拉簧的拉力下能够对不同大小的晶圆进行夹持涂膜，当刮板对晶圆表面的液体涂膜进行推平时多余的液体涂膜能够沿着导管排出至储存腔内部进行储存，避免液体涂膜堆积在空槽内导致晶圆摆放不平稳。

技术领域

本发明涉及晶圆涂膜领域，尤其是涉及到一种晶圆涂膜设备。

背景技术

晶圆是芯片的制作原料，在制作芯片时需要对晶圆进行加工才能使芯片达到标准，晶圆在加工时会通过晶圆涂膜设备对晶圆进行涂膜加工，使液体涂膜包裹覆盖在晶圆表面，使得晶圆的抗氧化能力及耐高温能力大大提高。

目前现有的一种晶圆涂膜设备，在对晶圆进行涂膜时由于涂膜材料为液体涂膜，液体涂膜在晶圆表面流动，使得在将涂膜进行推平时液体涂膜向晶圆边缘流动，致使部分液体涂膜流至晶圆支撑座内堆积，导致晶圆摆放不平稳影响晶圆表面涂膜的均匀程度。

发明内容

针对现有的一种晶圆涂膜设备，在对晶圆进行涂膜时由于涂膜材料为液体涂膜，液体涂膜在晶圆表面流动，使得在将涂膜进行推平时液体涂膜向晶圆边缘流动，致使部分液体涂膜流至晶圆支撑座内堆积，导致晶圆摆放不平稳影响晶圆表面涂膜的均匀程度的不足，本发明提供一种晶圆涂膜设备来解决上述技术问题。

本发明是通过如下的技术方案来实现：其结构包括储存箱、按钮、显示器、输膜器，所述按钮安装在储存箱左侧，所述显示器嵌设于储存箱前侧，所述输膜器两端分别通过焊接连接于储存箱背面与储存箱顶部，所述储存箱包括储存腔、固定板、涂膜箱、通管，所述储存腔嵌设于储存箱内部，且储存腔与输膜器一端相接通，所述固定板通过水平焊接连接于储存腔内壁，所述涂膜箱底部嵌固于固定板上表面，所述通管垂直设于涂膜箱顶部，且通管顶部与输膜器另一端相连接，所述固定板呈网格状，并且涂膜箱顶端外表面由下往上向内倾斜。

更进一步的说，所述涂膜箱包括盖板、把手、涂膜槽、刮板、支撑台、固定块，所述盖板底部与涂膜箱上内壁相啮合，所述把手通过螺栓连接于盖板顶部外表面，所述涂膜槽嵌设于盖板与涂膜箱内部，所述刮板顶部嵌固于盖板内底部，所述支撑台安装在刮板正下方，且支撑台嵌固于涂膜箱内壁，所述固定块上表面与涂膜箱底部相焊接，且固定块安装在涂膜箱内底部，所述把手有两块，且刮板的位置能够上下调节，并且涂膜箱内底部镂空。

更进一步的说，所述支撑台包括支撑杆、支撑簧、夹板、空槽、支撑块，所述支撑杆嵌固于支撑台外表面，所述支撑簧一端通过焊接连接于支撑台内壁，所述夹板与支撑簧另一端相连接，所述空槽嵌设于支撑台内壁，且空槽位于夹板内侧，所述支撑块嵌固于空槽中心处，所述支撑簧具有向内推动夹板的推力，且夹板有四块，并且夹板呈弧形弯曲。

更进一步的说，所述支撑杆包括限位块、弹簧、移动板、移动杆，所述限位块嵌固于支撑杆内壁，所述弹簧顶部通过焊接连接于支撑杆上内壁，所述移动板上表面与弹簧末端相连接，且移动板左右两壁与限位块相贴，所述移动杆贯穿于支撑杆下壁，且移动杆顶部与移动板相连接，所述限位块为橡胶材质组成的弧形块，且弹簧的弹力大于移动板与移动杆的重力。

更进一步的说，所述移动杆包括顶块、顶槽、连接块、压板，所述顶块与移动杆为一体化结构，所述顶槽嵌设于顶块内底部，所述连接块通过螺栓连接于顶槽内壁，所述压板连接于两块连接块之间，所述顶块具有弹性，且顶槽内部镂空，并且压板呈弧形向下弯曲。

更进一步的说，所述夹板包括夹块、凹槽、拉簧、隔板，所述夹块嵌固于夹板右侧，所述凹槽嵌设于夹板内部，所述拉簧一端通过焊接连接于凹槽内部，所述隔板通过间隙贯穿于凹槽内壁，且隔板与拉簧相连接，所述凹槽有两个，且拉簧具有向夹板内拉动隔板的力，并且每个夹板有隔板有两根连接。