[发明专利]一种平面构件平行度的测量方法和装置

权利要求书

1.一种平面构件平行度的测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括运动系统、测量系统、控制系统、数据处理系统；所述测量系统安装在运动系统上，控制系统控制运动系统带动测量系统进行运动，数据处理系统实时收集测量系统测量的数据并进行数据处理；

所述运动系统包括基座(13)、X伺服电机(1)、Y气浮导轨(2)、X气浮导轨(3)、Y气浮导轨滑块(4)、Y伺服电机(5)、X气浮导轨滑块(6)、光栅尺；所述的基座(13)两侧设有凸起结构，两个凸起结构上分别安装X气浮导轨(3)，X气浮导轨(3)上设有X气浮导轨滑块(6)；所述Y气浮导轨(2)两端安装在X气浮导轨滑块(6)上，通过X气浮导轨滑块(6)与X气浮导轨(3)连接；所述Y气浮导轨滑块(4)安装在Y气浮导轨(2)上；所述X伺服电机(1)安装在左侧X气浮导轨(3)上，带动X气浮导轨滑块(6)完成X方向的移动；所述Y伺服电机(5)安装在Y气浮导轨(2)上，带动Y气浮导轨滑块(4)完成Y方向的移动；所述光栅尺安装在X气浮导轨(3)和Y气浮导轨(2)上，获取激光位移传感器的位置信息，实时反馈给数据处理系统；

所述控制系统通过控制X伺服电机(1)、Y伺服电机(5)、直线电机(12)、转盘编码器(15)运动，从而控制激光位移传感器(9)完成X、Y方向特定轨迹的移动、直线电机(12)的直线升降运动和编码器15的旋转运动；

所述测量系统包括激光位移传感器保持架(7)、连接板(8)、激光位移传感器(9)、工件测量平台(11)、直线电机(12)、编码器载台(14)、转盘编码器(15)、直线导轨(16)；所述激光位移传感器保持架(7)为U型结构，U型结构中部设有凸起结构，凸起结构通过Y气浮导轨滑块(4)与Y气浮导轨(2)连接，U型结构两个侧壁位于基座(13)正上方；所述两个连接板(8)安装在激光位移传感器保持架(7)上下两个侧壁的端部，且每个连接板(8)中部设有中心孔，安装时要求两个连接板(8)上的中心孔同轴心，中心孔用于安装激光位移传感器(9)，上下两个激光位移传感器(9)在竖直方向上同轴心；所述工件测量平台(11)安装在基座(13)的前端平面上，工件测量平台(11)为“回”字型结构与U型结构的激光位移传感器保持架(7)在空间位置上呈正交关系，所述工件测量平台(11)上端面设有弧形槽，平面薄壁构件(10)水平放置于工件测量平台(11)的弧形槽上，使得位于激光位移传感器保持架(7)上的两个激光位移传感器(9)能够对工件的上下两表面进行测量；所述直线导轨(16)有两个，竖直安装在工件测量平台(11)两侧内壁上，两个直线导轨(16)与两个直线电机(12)连接；所述编码器载台(14)的两端与直线电机(12)连接，位于平面薄壁构件(10)下方，转盘编码器(15)安装在编码器载台(14)上，其中转盘编码器(15)与平面薄壁构件(10)同轴放置，两个直线电机(12)带动编码器载台(14)上的转盘编码器(15)在直线导轨(16)上完成升降运动；

所述数据处理系统与激光位移传感器(9)和光栅尺连接，用于实时获取激光位移传感器(9)的测量值和位置信息，并进行数据处理。