[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：

以光敏树脂为原料，3D打印出具有点阵结构的基体；

将处于半固态状态的所述基体置于含导电材料的溶液中，使用超声探针对含有所述基体的所述溶液进行超声处理，以将导电颗粒牢固附着在打印的点阵模型表面，并对所述基体进行热固化处理，以在所述基体表面形成导电层；

提供表面制备有电极的柔性基底，并将所述柔性基底与所述基体组装在一起，使得所述电极与所述导电层接触，得到柔性压力传感器。

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述超声探针工作第一设定时间后停止第二设定时间，如此循环多次，所述超声探针工作总时长为1.5h。

3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述热固化处理的固化温度为100-120℃，固化时间为6-10h。

4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述以光敏树脂为原料，3D打印出具有点阵结构的基体包括：

使用设计软件进行点阵结构的设计建模，得到三维点阵结构模型；

使用切片软件对所述三维点阵结构模型进行切片处理，采用数字光投影、立体光固化成型、熔融沉积打印或墨水直写打印固化处于液态的所述光敏树脂，得到具有点阵结构的所述基体。

5.根据权利要求1-3任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述含导电材料的溶液的配置过程包括：将所述导电材料溶于乙醇或去离子水中，制得所述溶液，其中，所述导电材料与所述乙醇或所述去离子水的质量比为1:50，所述导电材料包括碳纳米管、石墨烯、金属纳米颗粒、导电石墨和金属纳米线中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，在将所述基体置于所述溶液之前，还包括：对所述基体进行清洗并干燥。

7.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，在将所述基体置于所述溶液之前，还包括：对所述溶液进行分散处理。

8.根据权利要求2所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，在进行所述热固化处理之前，还包括：对经所述超声探针处理后的所述基体进行预先干燥处理。

9.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述柔性基底包括聚酯薄膜、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷和共聚酯中的一种，所述电极包括叉指电极。

10.一种柔性压力传感器，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的柔性压力传感器的制备方法制得。