[发明专利]高深宽比微结构阵列模芯、加工装置及制造方法

权利要求书

1.一种高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：包括微结构、模芯外壳、磁铁以及固定柱，

多个所述微结构的顶端呈阵列排布；

所述微结构的底端固定在所述固定柱上；

所述固定柱套设在所述模芯外壳内；使得所述微结构的一部分结构置于所述模芯外壳内，其另一部分结构露出在所述模芯外壳外；

所述磁铁放置在所述模芯外壳内部的底面，并且所述磁铁放置在所述固定柱的一端。

2.根据权利要求1所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：所述固定柱包括上固定块和下固定块，所述上固定块堆叠在所述下固定块上，且所述上固定块和所述下固定块分别嵌套在所述模芯外壳内；

所述微结构的底端嵌入所述上固定块中；

所述磁铁放置在所述下固定块和所述模芯外壳之间。

3.根据权利要求2所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：所述微结构包括微毛细管或微针；

所述微毛细管的底端嵌入所述上固定块内；或者，所述微针的底端嵌入所述上固定块内。

4.根据权利要求2所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：还包括金属隔层，该金属隔层设置在所述上固定块和所述下固定块之间。

5.根据权利要求4所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：所述微结构为微圆柱，该微圆柱的底端嵌入所述上固定块中，并且所述微圆柱的底端抵接在所述金属隔层上。

6.根据权利要求3-5任一项所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：所述微结构平行均布设置，或者交错设置，并且所述微结构的顶端对齐。

7.根据权利要求5所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，其特征在于：多个所述微结构形成的顶面形成斜面，并相对所述固定柱的底面倾斜。

8.一种具有高深宽比微结构阵列模芯的加工装置，其特征在于：包括热压装置和权利要求1-7任一项所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯，该便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯安装在所述热压装置上。

9.一种便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯的制造方法，其特征在于：将磁铁放置在模芯外壳内的底部，将液态或者半固态的固定剂倒入模芯外壳内，并覆盖住磁铁，冷却并形成下固定块；

待下固定块凝固，将液态或者半固态的固定剂倒入模芯外壳内，并置于下固定块的上方；并在该固定剂中插入阵列排布的微结构；

冷却使得固定剂凝固并形成上固定块，并且微结构固定嵌套在上固定块内。

10.根据权利要求9所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯的制造方法，其特征在于：固定剂为石膏或者锡粉。