[发明专利]一种高分辨率光刻胶

权利要求书

1.一种高分辨率光刻胶，其特征在于，包括以下原料：0.1-10重量组分的光致酸产生剂、10-30重量组分的成膜树脂、0.1-5重量组分的带酯键的酸扩散抑制剂以及55-89.8重量组分的有机溶剂A；

其中，所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，具体结构通式如下：

其中，R₁、R₂为氢原子数1～40且碳原子数为1～20的烷基、芳基或含硫/氧杂原子的取代基中的一种或多种，Q+为硫鎓盐阳离子或碘鎓盐阳离子；

所述酸扩散抑制剂为带酯键的酸扩散抑制剂，其分子量为100-30000g/mol，具体结构通式为：

其中，R₃、R₄为氢原子数1～40且碳原子数为1～20的烷基、芳基或含硫/氧/氮杂原子的取代基中的一种或多种，na为含有个酯键的、且碳原子数为1～20的碳链。

2.根据权利要求1所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述含双酯结构的光致酸产生剂的制备方法为：

S1、将马来酸酐溶解于有机溶剂B后，加入醇类有机化合物以及催化剂，搅拌均匀后升温进行酯化反应，得到丁二酸酯类化合物；

S2、将所述丁二酸酯类化合物与亚硫酸盐在水溶液中混合均匀后升温进行反应，得到双酯基磺酸盐；

S3、将所述双酯基磺酸盐与含有硫鎓盐阳离子或碘鎓盐阳离子的水溶液中配合生成所述含双酯结构的光致酸产生剂。

3.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述有机溶剂B为甲苯、二氯乙烷或4-二甲氨基吡啶中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述催化剂为浓硫酸、对甲苯磺酸中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述醇类有机化合物为饱和醇类有机化合物。

6.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，S1中酯化反应的温度为50-110℃、S2中反应的温度50-110℃。

7.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述亚硫酸盐为亚硫酸钠或亚硫酸钾。

8.根据权利要求1所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述成膜树脂通过至少一种酸活性单体制备而成，所述酸活性单体的具体结构通式为：

其中，R_a为H或碳原子数为1～20的碳链；R_b为酸敏的四级碳，R_c为H或碳原子数为1～20的碳链；R_d为含极性基团的(甲基)丙烯酸酯。

9.根据权利要求8所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述R_b为碳原子数在6～30之间的四级酯，其和羟基氧原子相连的碳原子的氢原子全部被其它基团取代，其结构为叔丁基酯、取代叔丁基酯、烷基取代的金刚烷酯、烷基取代的金刚烷衍生物酯、烷基取代的降冰片酯、烷基取代的降冰片衍生物酯、烷基取代的环状烷基酯、烷基取代的环状烷基衍生物酯中的一种或多种；

所述R_d为碳原子数在6～30之间且含羟基的环状、笼状或直链型含碳结构和各类内酯结构，其结构为含1个或多个独立羟基的金刚烷酯、含1个或多个独立羟基的环己酯、含1个或多个独立羟基的环戊酯、含1个或多个独立羟基的多环酯类化合物、含1个或多个独立羟基的笼状酯类化合物、丁内酯、戊内酯、取代戊内酯、己内酯、取代己内酯、含金刚烷结构的内酯、含多环结构的内酯、含笼状结构的内酯中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的高分辨率光刻胶，其特征在于，所述有机溶剂A为甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单醋酸醚、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、环己酮和甲基异丁基酮中的一种或多种。