[发明专利]热负载斩波器及其控制系统

说明书

本发明涉及同步辐射光源器件技术领域，尤其涉及热负载斩波器及其控制系统。本发明的热负载斩波器，包括支撑座，支撑座的一端设置有真空腔；主轴部件，主轴部件与支撑座相对转动设置，主轴部件的首端设置有X射线吸收回流组件，X射线吸收回流组件位于真空腔内；支撑组件，支撑组件包括主支撑组件和辅助支撑组件，主支撑组件设置有径向主气浮轴承和用于限制主轴部件轴向位移的轴向限制部件，辅助支撑组件设置有径向辅助气浮轴承；真空动密封系统，真空动密封系统用于密封隔离主气浮轴承和真空腔；本发明的热负载斩波器，可防止尾部旋转轴过长而形成的悬空摆动，从而大大提高其机械稳定性能。

技术领域

本发明涉及同步辐射光源器件技术领域，尤其涉及热负载斩波器及其控制系统。

背景技术

热负载斩波器，是通过旋转吸收盘的机械式阻挡来实现对束流斩波的光学器件。热负载斩波器系统的设计需要满足线站需求，要求机械主体在真空和辐射环境中稳定可靠的运行，现有的热负载斩波器的机械稳定性有待提高。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种热负载斩波器及其控制系统，可解决上述问题。

为实现上述目的，本发明的热负载斩波器，包括：支撑座，支撑座的一端设置有真空腔；主轴部件，主轴部件与支撑座相对转动设置，主轴部件的首端设置有X射线吸收回流组件，X射线吸收回流组件位于真空腔内；支撑组件，支撑组件包括主支撑组件和辅助支撑组件，主支撑组件设置有径向主气浮轴承和用于限制主轴部件轴向位移的轴向限制部件，辅助支撑组件设置有径向辅助气浮轴承，主轴部件通过径向主气浮轴承和径向辅助气浮轴承安装于支撑座，径向主气浮轴承靠近主轴部件的首端，径向辅助气浮轴承位于主轴部件的尾端；真空动密封系统，真空动密封系统用于密封隔离主气浮轴承和真空腔；电机组件，电机组件用于驱动主轴部件相对于支撑座转动。

进一步的，所述主轴部件包括主旋转轴、辅助支撑轴，X射线吸收回流组件和辅助支撑轴分别设置于主旋转轴的两端，主旋转轴通过径向主气浮轴承安装于支撑座，辅助支撑轴通过径向辅助气浮轴承安装于支撑座。

进一步的，所述主轴部件还包括止推环，止推环安装主旋转轴的中部；所述轴向限制部件包括轴向气浮轴承，轴向气浮轴承用于在轴向限制止推环；电机组件包括定子和转子，定子安装于支撑座，转子安装于主轴部件，主轴部件还包括电机挡圈，电机挡圈将转子沿轴向限制于止推环。

进一步的，还包括外套，所述支撑座包括前旋转轴承座和支撑轴承座，前旋转轴承座和支撑轴承座分别位于外套的两端，主旋转轴通过径向主气浮轴承安装于前旋转轴承座，辅助支撑轴通过径向辅助气浮轴承安装于支撑轴承座；支撑轴承座设置有两个间隔的容置空间，径向辅助气浮轴承设置有两个，两个径向辅助气浮轴承分别位于两个间隔的容置空间。

进一步的，还包括冷却隔离环，冷却隔离环的外壁设置有冷却环槽，冷却隔离环安装于所述外套的内壁，电机组件安装于冷却隔离环内部，外套设置有与冷却环槽导通的孔道。

进一步的，所述真空动密封系统包括密封过渡套和真空密封套，密封过渡套包括管体部和法兰盘部，前旋转轴承座的端部设置有容置位，管体部位于容置位，法兰盘部固定安装于前旋转轴承座的端部，真空密封法兰套固定安装于管体部的内壁，真空密封法兰套位于管体部的内壁和主旋转轴的外壁之间，用于密封隔离主气浮轴承和真空腔。

进一步的，还设置有密封罩，密封罩安装于所述前旋转轴承座，真空腔设置于密封罩内。

进一步的，还设置有编码器安装环座，编码器安装环座安装有用于测量主轴部件转速的编码器，编码器安装环座固定于外套。

进一步的，还包括水平移动工作台，水平移动工作台包括底座、底板和驱动装置，所述支撑座安装于底座，底座通过滑轨滑块安装于底板，驱动装置用于驱动底座与底板相对滑动。

进一步的，所述X射线吸收回流组件包括回流盘、吸收盘和X射线盖板。