[发明专利]一种安全型二极管制作设备在审
申请号: | 202110091807.0 | 申请日: | 2021-01-23 |
公开(公告)号: | CN112833659A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 黄修海 | 申请(专利权)人: | 南京美津浓电子科技有限公司 |
主分类号: | F26B25/00 | 分类号: | F26B25/00;F26B25/12;B08B1/00;B08B1/04;H01L21/67 |
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地址: | 211300 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 安全 二极管 制作 设备 | ||
本发明涉及一种安全型二极管制作设备,包括箱体和门体,所述箱体的形状为长方体,所述箱体的一侧设有开口,所述门体安装在箱体的设有开口的一侧且与开口密封连接,所述箱体内设有加热装置,所述箱体的顶部设有清洁机构,所述箱体上设有辅助机构,所述辅助机构包括导热杆、膨胀块、推杆和两个辅助组件,所述辅助组件包括固定管、移动盘、移动杆、第一弹簧、连接杆、气孔、通孔和圆孔,所述清洁机构包括轴承、转动轴、连接线、扭转弹簧和两个清洁组件,该安全型二极管制作设备通过清洁机构实现了清除箱体顶部的灰尘,不仅如此,还通过辅助机构提高了安全性,防止门体打开时烫伤。
技术领域
本发明涉及半导体元件制造领域,特别涉及一种安全型二极管制作设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,其中,二极管是半导体的一种,而二极管在生产制造过程中,需要通过烘箱对二极管进行烘烤。
现有的烘箱在对二极管烘烤完毕后,烘箱内的温度较高,打开箱门时,烘箱内的热空气易烫伤工作人员,降低了安全性,不仅如此,烘箱顶部易堆积灰尘,当烘箱高度较高时,不便于灰尘的清除,降低了实用性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种安全型二极管制作设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种安全型二极管制作设备,包括箱体和门体,所述箱体的形状为长方体,所述箱体的一侧设有开口,所述门体安装在箱体的设有开口的一侧且与开口密封连接,所述箱体内设有加热装置,所述箱体的顶部设有清洁机构,所述箱体上设有辅助机构;
所述辅助机构包括导热杆、膨胀块、推杆和两个辅助组件,所述箱体的远离开口的一侧设有安装孔,所述导热杆水平穿过安装孔,所述导热杆与安装孔的内壁密封且固定连接,所述膨胀块固定在导热杆的远离门体的一端,所述推杆竖向设置且与膨胀块的远离门体的一侧抵靠,所述辅助组件均匀设置在箱体上,所述导热杆位于两个辅助组件之间;
所述辅助组件包括固定管、移动盘、移动杆、第一弹簧、连接杆、气孔、通孔和圆孔,所述固定管与导热管平行且位于箱体内,所述固定管的两端分别与箱体的内壁密封且固定连接,所述气孔设置在箱体的设有开口的一侧,所述气孔与固定管同轴设置,所述气孔的孔径小于固定管的内径,所述门体与气孔密封连接,所述通孔和圆孔均设置在箱体的远离门体的一侧,所述连接杆水平穿过圆孔,所述连接杆与圆孔的内壁滑动且密封连接,所述连接杆固定在推杆上,所述连接杆位于固定管和导热杆之间,所述移动盘、移动杆和通孔均与固定管同轴设置,所述通孔的孔径小于固定管的内径且大于移动杆的直径,所述移动盘的直径与固定管的内径相等,所述移动盘设置在固定管内,所述移动盘与固定管的内壁滑动且密封连接,所述移动杆穿过通孔且位于推杆和移动盘之间,所述移动盘通过移动杆固定在推杆上,所述移动盘的远离门体的一侧通过第一弹簧与箱体的远离开口一侧的内壁连接;
所述清洁机构包括轴承、转动轴、连接线、扭转弹簧和两个清洁组件,所述转动轴竖向设置,所述轴承的内圈安装在转动轴上,所述轴承的外圈与箱体的顶部固定连接,所述扭转弹簧位于轴承和箱体之间,所述轴承的外圈通过扭转弹簧与转动轴的底端连接,所述连接线的一端固定在转动轴上,所述连接线的另一端与推杆固定连接,所述连接线卷绕在转动轴上,所述清洁组件以转动轴的轴线为中心周向均匀分布;
所述清洁组件包括刮杆、导杆、滑块、第二弹簧和连杆,所述刮杆的轴线与转动轴的轴线垂直且相交,所述导杆固定在转动轴上,所述滑块套设在导杆上,所述第二弹簧位于滑块和转动轴之间,所述滑块通过第二弹簧与转动轴连接,所述刮杆水平设置在导杆和箱体之间且与箱体的顶部抵靠,所述滑块通过连杆与刮杆顶部的中端铰接,所述连杆倾斜设置,所述连杆的靠近滑块的一端与传动轴之间的距离小于连杆的另一端与转动轴之间的距离。
作为优选,为了减小固定管与移动盘之间的间隙,所述固定管的内壁涂有密封脂。
作为优选,为了提高连接线的可靠性,所述连接线为钢丝绳。
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