[发明专利]一种基于MEMS结构的湿度传感器有效
| 申请号： | 202110093059.X | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112461887B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 结构 湿度 传感器 | ||
1.一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括：
终端式微波功率传感器和多个MEMS悬臂梁；
其中，所述终端式微波功率传感器包括基板、设置在所述基板上的热电堆、以及与所述热电堆间隔设置的共面波导；
所述共面波导包括共面波导信号线，设置在所述共面波导信号线两侧的第一共面波导地线、第二共面波导地线；
第一匹配电阻串接在所述共面波导信号线与所述第一共面波导地线之间；
第二匹配电阻串接在所述共面波导信号线与所述第二共面波导地线之间；
所述第一匹配电阻和所述第二匹配电阻串接于所述共面波导信号线临近所述热电堆的端部；
所述多个MEMS悬臂梁的锚区设置同一根共面波导地线上；
所述多个MEMS悬臂梁的自由端悬空于所述共面波导信号线上方；
所述多个MEMS悬臂梁包括湿度敏感材料和非湿度敏感材料；
所述多个MEMS悬臂梁具有不同的弹性系数。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述MEMS悬臂梁的数量为3个。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述MEMS悬臂梁包括湿度敏感材料和非湿度敏感材料的双层结构。
4.根据权利要求3所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述非湿度敏感材料为金属材料。
5.根据权利要求1或2所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述多个MEMS悬臂梁的锚区等间距设置在同一根共面波导地线上。
6.根据权利要求1或3所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感材料包括聚酰亚胺或者氧化石墨烯。
7.根据权利要求1所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述第一匹配电阻和所述第二匹配电阻的阻值相等。
8.根据权利要求1所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述多个MEMS悬臂梁通过改变与锚区的连接结构以调整弹性系数。
9.根据权利要求1或8所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，所述MEMS悬臂梁以折叠弹簧结构与锚区相连接。
10.根据权利要求1所述的一种基于MEMS结构的湿度传感器，其特征在于，通过调整所述MEMS悬臂梁的个数及弹性系数来调整所述湿度传感器的测量范围。
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