[发明专利]光源定位装置和半导体光学量测装置

权利要求书

1.一种用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内限定出适于半导体光学量测设备的光源器件至少部分伸入的安装腔，所述外壳包括定位件和用于与所述半导体光学量测设备固定连接的固定件；

定位杆，所述定位杆可移动地穿设在所述定位件上且所述定位杆的一端伸入所述安装腔内，所述定位杆伸入所述安装腔的一端设有底座，所述底座设有与所述光源器件安装定位的定位部，所述外壳安装在所述半导体光学量测设备时所述光源器件安装到位且所述光源器件的定位标志位于定位位置处且朝向固定。

2.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述固定件环绕所述定位件的周向延伸且与所述定位件共同限定出所述安装腔。

3.根据权利要求2所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述外壳形成为中空的圆筒状且所述外壳的一端封闭，所述固定件形成为外壳的侧壁，所述定位件形成为所述外壳的底壁，所述定位件设有沿所述外壳轴向贯穿所述定位件的通孔，所述定位杆沿所述外壳的轴向可移动地穿设在所述通孔内。

4.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述固定件设有与所述半导体光学量测设备固定连接的至少一个固定孔。

5.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，还包括限位件，所述限位件设在所述外壳上且沿伸入和伸出所述安装腔的方向可移动，所述限位件伸入所述安装腔内时与所述光源器件配合以固定所述光源器件。

6.根据权利要求5所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述固定件设有与所述安装腔连通的限位孔，所述限位件可移动地设在所述限位孔内以在所述光源器件到位时伸入所述安装腔内止抵固定所述光源器件。

7.根据权利要求5所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述限位件为两个且相对设置，两个所述限位件伸入所述安装腔时止抵所述光源器件的相对两侧以固定所述光源器件。

8.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述定位杆设有定位止挡部，所述定位止挡部设在所述定位杆位于所述安装腔外的一端以限定所述定位杆的移动行程。

9.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置，其特征在于，所述定位部形成为具有螺纹的螺孔，所述光源器件与所述定位部螺纹连接，所述光源器件与所述螺孔安装到位时，所述光源器件的定位标志位于定位位置处。

10.一种半导体光学量测装置，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的用于半导体光学量测的光源定位装置。