[发明专利]金属遮罩的制造方法有效
| 申请号： | 202110099589.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112921365B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 余俊毅 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H10K71/16;H10K71/00 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 制造 方法 | ||
1.一种金属遮罩的制造方法，其特征在于，包括：
提供一成长基板，其中该成长基板具有一导电面，而该导电面具有一法线；
在该导电面上形成一遮盖图案，其中该遮盖图案为绝缘体，并具有至少一开口以及接触该导电面的一绝缘表面，该至少一开口从该导电面沿着该法线而延伸；
以该遮盖图案作为屏蔽，进行一第一次电铸，以在该导电面上形成一模具部，其中该模具部填入于该至少一开口，并具有接触该导电面的一导电图案表面，其中该导电图案表面与该绝缘表面彼此切齐；
在进行该第一次电铸之后，移除该成长基板，并保留该遮盖图案与该模具部；
在移除该成长基板之后，对该模具部的该导电图案表面进行一第二次电铸，以在该导电图案表面上形成一金属图案；以及
在进行该第二次电铸之后，从该金属图案移除该模具部与该遮盖图案。
2.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，形成该遮盖图案的方法包括曝光与显影。
3.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该模具部的厚度大于或等于该开口的深度。
4.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该模具部与该金属图案两者材料不同。
5.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该金属图案具有多个镂空区，而至少一该镂空区的最小宽度介于10微米至50微米之间。
6.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该金属图案的厚度介于5微米至25微米之间。
7.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该金属图案的材料为镍铁合金，而该金属图案中的铁成分介于50％至65％之间。
8.根据权利要求7所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该金属图案中的镍成分介于35％至50％之间。
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