[发明专利]扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法

说明书

本发明提供一种扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法，其目的在于缩短检测部的位置的调整所花费的时间。在检测器的位置调整处理中，控制装置使检测器在检测器运动的平面上以使光电二极管彼此分开的边界线为基准倾斜地运动，并且响应于激光的至少一部分入射到受光面，使检测器移动以使光斑的重心位置与受光面的中心一致。

技术领域

本发明涉及一种扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。

背景技术

在扫描探针显微镜中使用形成有探针的被称为悬臂的悬臂梁。在扫描探针显微镜中，将悬臂的翘曲或振动的变化变换为照射至悬臂背面的激光的反射光的变化，从而利用光电检测器进行检测。光电检测器检测反射光的位置、强度以及相位等的变化。扫描探针显微镜将光电检测器检测出的信息转换为各种物理信息(例如参照专利文献1(日本特开2000-346782号公报))。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-346782号公报

发明内容

发明要解决的问题

在扫描探针显微镜中，在测定试样之前，需要调整光电检测器的位置，以使悬臂的反射光准确地入射到光电检测器，并且反射光的光斑位于光电检测器的中央。光电检测器的位置的调整由于是每当更换悬臂时都需要进行的作业，因此期望在短时间内完成。另外，光电检测器的位置的调整由于是每当更换悬臂时都需要进行的作业，因此期望自动地进行。

在想要自动地进行光电检测器的位置调整的情况下，只要激光的反射光的至少一部分入射到光电检测器，扫描探针显微镜就能够基于反射光的入射位置来掌握光电检测器与反射光的相对位置关系，从而能够使光电检测器移动以使反射光的光斑位于光电检测器的中央。

在激光的反射光未入射到光电检测器的情况下，扫描探针显微镜无法掌握光电检测器与反射光的相对位置关系。在该情况下，例如考虑通过使光电检测器在可动范围内运动至所有地方来使激光的反射光入射到光电检测器的方法。但是，在使光电检测器运动至所有地方的方法中，存在使激光的反射光入射到光电检测器之前需要时间的问题。

本发明是为了解决该问题而完成的，其目的在于缩短如光电检测器这样的检测部的位置的调整所花费的时间。

用于解决问题的方案

根据本发明的某个方面的扫描探针显微镜包括：悬臂；照射部，其向悬臂照射激光；检测部，其包括用于接收被悬臂反射的激光的受光面，检测入射到受光面的激光；驱动部，其使检测部在与入射到受光面的激光的光轴交叉的面移动；以及控制部，其控制驱动部。受光面具有多个受光区域。控制部进行第一控制并且进行第二控制，在第一控制中，控制驱动部，以使检测部相对于与使多个受光区域彼此分开的边界线平行的轴倾斜地移动。在第二控制中，响应于受光面接收到激光，进行调整以使受光面中的激光的光斑的重心位于受光面的中央。

发明的效果

根据本发明，能够缩短检测部的位置的调整所花费的时间。

附图说明

图1是示意性地表示实施方式的扫描探针显微镜1的结构的图。

图2是用于说明在测定开始时进行的光轴调整方法的概要的图。

图3是表示检测器28的结构的图。

图4是控制装置100执行的检测器28的位置调整处理S2的流程图。

图5是表示通过反复进行S210的处理而走出的检测器28的路径的一例的图。