[发明专利]一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法

权利要求书

1.一种多反射干涉仪，用于设置在多反射干涉自动测量系统中，其特征在于，包括：

第一支撑单元；

分束器，固定在所述第一支撑单元上，用于将所述入射光分成第一光束和第二光束；

第一反射单元，固定设置在所述第一支撑单元上，包括第一长反射镜、第一短反射镜以及第一终端反射镜，所述第一长反射镜和第一短反射镜互相平行且相对设置，所述第一终端反射镜与第一短反射镜设置在所述第一长反射镜的同一侧，所述第一光束经所述第一长反射镜和所述第一短反射镜进行多次反射后，垂直射入所述第一终端反射镜后原路返回至所述分束器；以及

第二反射单元，设置在所述第一支撑单元上，包括第二长反射镜、第二短反射镜以及第二终端反射镜，所述第二长反射镜和第二短反射镜互相平行且相对设置，所述第二终端反射镜与第二短反射镜设置在所述第二长反射镜的同一侧，所述第二光束经所述第二长反射镜和所述第二短反射镜进行多次反射后，垂直射入所述第二终端反射镜后原路返回至所述分束器，

所述第一光束和所述第二光束在所述分束器汇聚后作为出射光输出，

其中，所述第二反射单元还包括移动组件，该移动组件包括滚珠丝杆、滑块、步进电机以及动镜支架，所述滚珠丝杆安装在所述第一支撑单元上，与所述第二短反射镜相垂直，所述滑块套设在所述滚珠丝杆上，所述步进电机的输出轴通过联轴器与所述滚珠丝杆连接，用于带动所述滚珠丝杆转动进而带动所述滑块沿着所述滚珠丝杆的长度方向移动，所述动镜支架安装在所述滑块上，所述第二长反射镜安装在所述动镜支架上。

2.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第二反射单元还包括与所述滚珠丝杆相平行设置的光栅尺，所述光栅尺具有探头，

所述探头通过连接件连接在所述滑块上，用于随所述滑块移动从而定位所述滑块的位置。

3.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述动镜支架包括竖直设置在所述滑块上的第二支撑杆，套设在所述第二支撑杆上的第二固定件以及用于将所述第二固定件固定在所述第二支撑杆上的紧固螺栓，所述第二固定件具有用于安装所述第二长反射镜的安装卡槽。

4.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第一光束为反射光束或透射光束。

5.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第一长反射镜、所述第一短反射镜、所述第一终端反射镜、所述第二长反射镜、所述第二短反射镜以及所述第二终端反射镜均为平面反射镜。

6.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第一长反射镜和所述第二长反射镜的长度均为105mm，所述第一短反射镜和所述第二短反射镜的长度均为68mm，所述第一长反射镜和所述第一短反射镜的水平间距为30mm，所述第二长反射镜和所述第二短反射镜的水平间距最小为30mm，最大为50mm，所述第一长反射镜和所述第二长反射镜上的光束反射次数为2次。

7.根据权利要求6所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第二反射单元和所述第一反射单元的最大光程差为132.65mm，此时的光程放大倍数为6.63，此时所述多反射干涉仪的光谱分辨率为0.075cm^-1。

8.根据权利要求1所述的多反射干涉仪，其特征在于：

其中，所述第一支撑单元具有支撑板和匚形板，

所述支撑板上均匀设置有多个通孔，

所述匚形板倒置在所述支撑板上，其底部的两端向外侧延伸形成延伸板，所述延伸板上设置有与所述通孔相匹配的通槽，通过螺栓穿过所述通槽和所述通孔的方式将所述匚形板固定在所述支撑板上。