[发明专利]一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用

说明书

本发明公开了一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用，包括如下重量百分含量的组分：无机盐1‑30％、表面活性剂0.001‑0.2％、絮凝剂0.001‑0.5％、络合剂0.01‑0.15％、消泡剂0.01‑0.1％、余量为水；制备时，将各组分按比例与水混合，先加水并持续搅拌，依次加入无机盐、表面活性剂、絮凝剂、络合剂和消泡剂，直到完全溶解，配制成二氧化硅抛光液废液处理剂，然后将二氧化硅抛光液废液处理剂按照1:5‑24的比例加入二氧化硅抛光液废液中，搅拌均匀后静置10分钟以上，待沉淀物完全沉淀，再通过过滤的方式把沉淀物去除，最后得到废水和沉淀物，废水中悬浮物指标符合国家污水排放标准，沉淀物中主要成分为二氧化硅，可当一般固废处理，解决了二氧化硅抛光液废液污染环境严重，难处理等问题。

技术领域

本发明涉及废液处理技术领域，特别是涉及一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用。

背景技术

硅溶胶属于胶体溶液，具有许多优良的性质和特点，如无臭、无毒、耐腐蚀、耐高温和化学性能稳定等，一直被人们开发和应用，现已被广泛应用于精密铸造、涂料、纺织、催化剂和化学机械抛光(CMP)等行业中，而且每年的需求量都呈上升趋势，尤其是在化学机械抛光行业中，因为半导体得到国家的大力支持和帮助，使其得到快速发展，硅溶胶又有着不可替代的地位，所以硅溶胶的使用量也在快速增长。二氧化硅抛光液的特点是使用一段时间之后，其抛光速度就会变慢，抛光效果变差，如果继续使用，还会带来严重的负面影响，所以我们只能更换新的二氧化硅抛光液，这时候，不能继续使用的二氧化硅抛光液就变成了工业废液。

由于二氧化硅抛光液废液中的纳米胶体颗粒依然具有很好的悬浮特性，如果当成废水直接排走的话，会造成污水悬浮物指标严重超标，而且二氧化硅抛光液在特定情况下可能发生聚集沉淀，造成管道堵塞等不良后果。因此，二氧化硅抛光液废液排放前应经过特殊处理使废水中悬浮物指标达到国家排放标准。通常，工业废水的处理方法包括物理法、化学法和生物法，处理过程一般采用絮凝、沉降、分离等手段，但由于二氧化硅抛光液废液具有良好的化学稳定性，常规絮凝剂及絮凝方法难以使其有效沉降，因此，如何快速、高效地处理二氧化硅抛光液废液显得十分重要。

发明内容

本发明针对目前二氧化硅抛光液废液对环境污染严重、难处理等问题，提供了一种二氧化硅抛光液废液处理剂，使其可以将二氧化硅抛光液废液进行处理后，废水中悬浮物指标达到国家排放标准，从而解决二氧化硅抛光液废液污染环境的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种二氧化硅抛光液废液处理剂，包括如下重量百分含量的组分：

作为本发明进一步改进，包括如下重量百分含量的组分：

进一步地，包括如下重量百分含量的组分：

进一步地，所述无机盐采用碳酸钾、碳酸钠、硫酸钠、硝酸钠、硝酸钙、氯化钙和氯化镁中的一种或多种，大量的无机盐会破坏硅溶胶的胶体稳定性。

进一步地，所述表面活性剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵、聚丙烯酸钠中的一种或多种，表面活性剂加强了无机盐对胶体的破坏，有利于二氧化硅抛光液废液发生聚沉反应。

进一步地，所述絮凝剂采用硫酸铝钾、聚合氯化铝、聚合氯化铁和聚丙烯酰胺中的一种或多种，絮凝剂能吸附沉淀物，使颗粒聚集成团，加速沉淀，帮助过滤。

进一步地，所述络合剂采用乙二胺四乙酸二钠、氨基三乙酸、四甲基氯化铵和聚甲基丙烯酸中的一种或多种，络合剂是为了去除二氧化硅抛光液废液中的金属等杂质。

进一步地，所述消泡剂采用聚醚消泡剂、有机硅消泡剂中的一种或多种，消泡剂是为了消除泡沫。