[发明专利]基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料与应用

权利要求书

1.一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述超材料包括硅环、硅矩形棒和石墨烯条，硅环外边缘与硅矩形棒之间留有间隙，石墨烯条置于硅环或硅矩形棒底部。

2.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述超材料的衬底为二氧化硅。

3.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述超材料由若干结构单元周期构成，结构单元周期的横向周期为150-300μm，优选的，为150μm；纵向周期为150-300μm，优选的，为150μm。

4.如权利要求3所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，每一个结构单元由硅环、硅矩形棒和石墨烯条构成，硅矩形棒的纵向轴线与硅环轴线平行；石墨烯条与硅矩形棒平行。

5.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述硅环外径为45-90μm，优选的，为45μm；内径为22-44μm，优选的，为22μm；

或，所述硅环厚度为2-4μm，优选的，为2μm。

6.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述硅矩形棒长度为144-288μm，优选的，为144μm；宽度为30-60μm，优选的，为30μm；厚度为2-4μm，优选的，为2μm。

7.如权利要求3所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，每一个结构单元中，硅环外径边缘与硅矩形棒外边缘之间的距离为5-20μm，优选的，为14μm。

8.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，所述石墨烯条为单层矩形石墨烯，宽度为1-10μm，优选的，为5μm。

9.如权利要求1所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料，其特征在于，当石墨烯条置于硅环底部时，硅环两侧分别设置石墨烯条，石墨烯条的外边缘与硅环外径边缘重合；

或，当石墨烯条置于硅矩形棒底部时，石墨烯条处于硅矩形棒底部中央，与硅矩形棒纵向轴线重合。

10.权利要求1-9任一项所述的一种基于石墨烯主动调谐的太赫兹电磁诱导透明超材料在微电子技术、太赫兹超材料功能器件领域中的应用。