[发明专利]一种高性能大面积柔性透明电极及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：具体步骤为：

1)利用电场驱动喷射微纳3D打印技术，以金属纳米浆料为打印材料，在打印衬底上通过微纳3D打印出金属图案化结构，然后将金属图案化结构进行固化烧结处理；

2)在金属图案化结构的基础上，进行PDMS凹模的转印；

3)以PDMS凹模为母模具，采用辊对平工艺将带有涂覆UV光刻胶的PET与PDMS凹模紧密的结合并且进行UV固化，转印脱模，得到凸模模具；

4)对得到的凸模模具为母模具进行抗粘附处理、涂覆PDMS、预固化、涂覆偶联剂再固化，脱模后，得到微结构软模具；

5)在微结构软模具的凹槽中，采用刮涂工艺将纳米银浆填充到凹槽中作为导电种子层，然后利用电镀工艺在凹槽中电镀出电极结构，烧结处理后得到柔性透明导电薄膜。

2.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：打印衬底包括普通玻璃、硅片硬质衬底；

或，图案化结构为线栅结构、网栅结构、菱形结构、六边形结构或者其它不规则图形结构；

或，金属导电浆料为纳米银浆、纳米铜浆、导电墨水、金属纳米线中的一种或者几种。

3.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤1)中固化烧结的温度为130-140℃，时间为30-40分钟。

4.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤2)PDMS凹模的转印的具体方法为：在金属图案化结构的表面涂覆PDMS材料，进行真空加热固化，再采用“揭开式”脱模的方式，将固化后的PDMS凹模与衬底分离。

5.如权利要求4所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：固化的温度为80-90℃，固化的时间为30-50min。

6.如权利要求4所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：固化的时间为40min。

7.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤2)中转印脱模后，进行牺牲层的清理，清理的方法为：在玻璃衬底上涂覆光刻胶，然后将PDMS凹模覆盖在涂覆光刻胶的玻璃衬底上，然后将整体在UV固化机中进行固化成型，脱模，将牺牲层从PDMS凹模中脱出。

8.如权利要求7所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：固化成型的时间为0.5-1.5min。

9.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤3)中固化的时间为1.5-2.5min。

10.如权利要求7所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤4)的具体过程为：对母模具进行抗粘附处理，然后在母模具的表面涂覆PDMS，预固化，在PET层的表面涂覆偶联剂得到PET薄膜，然后将PET薄膜贴合在PDMS上，进行真空加热固化，然后采用“揭开式”脱模的方式将PET-PDMS复合模具从木模板上脱离。

11.如权利要求10所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤4)中，涂覆PDMS的厚度为1.2-1.8mm。

12.如权利要求10所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤4)中，预固化的温度为80-90℃，固化的时间为30-45min。

13.如权利要求10所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤4)中，PET支撑膜层的厚度为1.2-1.8mm。