[发明专利]一种光学加速度传感器及加速度传感器系统

权利要求书

1.一种光学加速度传感器，其特征在于，包括：

传导光纤(2)，其内部传导光波；

半导体结构(3)，其上刻蚀布拉格光栅(31)，且与所述传导光纤(2)对准，对射入的光波进行调制后反射回所述传导光纤(2)；

振动组件(4)，其与所述半导体结构(3)连接，感应被测物体的振动并传递给所述布拉格光栅(31)。

2.根据权利要求1所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述振动组件(4)的质心与所述半导体结构(3)的中心重合。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述振动组件(4)包括质量块(41)和悬梁臂(42)，所述质量块(41)通过所述悬梁臂(42)与所述半导体结构(3)连接。

4.根据权利要求3所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述质量块(41)的数量为多个，且多个所述质量块(41)的质量相同。

5.根据权利要求3所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述悬梁臂(42)等长，且围绕所述半导体结构(3)呈放射性均匀设置。

6.根据权利要求4所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述质量块(41)的数量为四个。

7.根据权利要求1-2中任一项所述的光学加速度传感器，其特征在于，所述传导光纤(2)与所述布拉格光栅(31)对准的一端上设置有凸透镜(5)。

8.根据权利要求1-2中任一项所述的光学加速度传感器，其特征在于，还包括封装外壳(6)，所述封装外壳(6)包裹所述半导体结构(3)和所述振动组件(4)，且与所述传导光纤(2)固定连接。

9.一种光学加速度传感器系统，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的光学加速度传感器(1)。

10.根据权利要求1所述的光学加速度传感器系统，其特征在于，还包括：

光源生成器(7)，其生成用于探测的光波；

信号解调器(8)，其将射入的光波解调为电信号，并结算出对应的加速度；

光纤耦合器(9)，其一端分别与所述光源生成器(7)、所述信号解调器(8)通过光纤连通，另一端与所述光学加速度传感器(1)通过光纤连通，将所述光学加速度传感器(1)的光波传输通道分离为所述光源生成器(7)的光波传输通道和所述信号解调器(8)的光波传输通道。