[发明专利]氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层有效
申请号: | 202110108214.0 | 申请日: | 2017-04-12 |
公开(公告)号: | CN112779488B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 浜谷典明;高井康 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C23C4/04 | 分类号: | C23C4/04;C23C4/134 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 杜丽利 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氟化 喷涂 涂层 用于 材料 以及 包括 腐蚀 | ||
1.沉积在基材表面上的氟化钇喷涂涂层,其具有:
10至500μm的厚度,
包含YF3、Y2O3和至少一种选自Y5O4F7和YOF的化合物的氟化钇晶体结构,
2至4重量%的氧浓度,
350至470HV的硬度,
基于所述涂层的表面积计的至多5%的开裂量,以及
基于所述涂层的表面积计的至多5%的孔隙率,其中
所述氟化钇喷涂涂层通过具有单个粒化的粉末的形式的喷涂材料或者粉末混合物形成,
所述具有单个粒化的粉末的形式的喷涂材料通过将YF3源粉末与Y2O3源粉末的粉末混合物通过喷雾干燥粒化,并将粒化的粉末烧制成为单个粒化的粉末而获得,
所述粉末混合物基本上由95至85重量%的氟化钇的粒化的粉末和5至15重量%的氧化钇的粒化的粉末组成。
2.根据权利要求1所述的喷涂涂层,所述氟化钇晶体结构由YF3、Y2O3和选自Y5O4F7和YOF的至少一种化合物组成。
3.根据权利要求1所述的喷涂涂层,其具有至多0.01重量%的碳含量。
4.用于形成权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层的氟化钇喷涂材料,其为基本上由9至27重量%的Y5O4F7和余量的YF3组成的粒化的粉末的形式,其中
所述喷涂材料具有单个粒化的粉末的形式,其通过将YF3源粉末与Y2O3源粉末的粉末混合物通过喷雾干燥粒化,并将粒化的粉末烧制成为单个粒化的粉末而获得。
5.用于形成权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层的氟化钇喷涂材料,其为基本上由95至85重量%的氟化钇的粒化的粉末和5至15重量%的氧化钇的粒化的粉末组成的粉末混合物。
6.用于形成权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层的方法,其中所述氟化钇喷涂涂层通过使用权利要求4或5所述的氟化钇喷涂材料进行热喷涂而形成。
7.根据权利要求6所述的方法,其中热喷涂为等离子体喷涂。
8.具有多层结构的抗腐蚀涂层,包括具有10至500μm的厚度和至多5%的孔隙率的稀土氧化物喷涂涂层形式的下层和权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层形式的最外表面层。
9.根据权利要求8所述的涂层,其中所述稀土氧化物喷涂涂层的稀土元素为选自Y、Sc、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu的至少一种元素。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆