[发明专利]蒸汽清洗减压干燥装置

说明书

本发明提供一种能够在增多每单位时间内处理的工件的个数的同时抑制装置成本的蒸汽清洗减压干燥装置。其包括：多个真空槽(第1真空槽和第2真空槽)；1台真空泵；排气管，其包括连接于真空泵的进气口的主排气管和自主排气管分支且在多个真空槽分别连接有各1根的多根分支排气管(第1分支排气管和第2分支排气管)；多个排气管开闭阀(第1排气管开闭阀和第2排气管开闭阀)，其在多根分支排气管分别设有各1个；开闭阀控制部，其进行将多个排气管开闭阀单独地关闭或开放的控制；蒸汽产生部，其分别连接于多个真空槽；喷射器，其分别连接于多个真空槽；以及冷凝机构(喷射器侧冷凝器)，其设在各多个真空槽与喷射器之间，使蒸汽冷凝而液化。

技术领域

本发明涉及一种在用清洗液的蒸汽清洗了工件之后在减压条件下将其干燥的蒸汽清洗减压干燥装置。

背景技术

以往使用这样的蒸汽清洗减压干燥装置：在使用使清洗液汽化而得到的蒸汽清洗了工件之后进行减压干燥，以去除附着于工件的清洗液。

对于专利文献1所记载的蒸汽清洗减压干燥装置，首先在工件收纳于真空槽内的基础上，利用真空泵使真空槽内的压力下降，之后将清洗液的蒸汽导入到该真空槽内。由此，蒸汽与低温的工件的表面接触而液化，从而利用清洗液清洗该表面(蒸汽清洗)。此时，若由于蒸汽的导入而使真空槽内的压力上升(真空度下降)，则清洗液的沸点上升，蒸汽在与工件的表面接触之前液化，因此蒸汽清洗的效率下降。于是，在真空槽内的压力上升至预定的上限值的时机暂时停止蒸汽的供给，在此基础上，利用真空泵将真空槽内的压力减小至预定的下限值，之后再次开始蒸汽的供给。通过这样反复进行蒸汽的供给和减压的操作，使利用蒸汽进行的工件的持续的清洗成为可能。

另一方面，在进行持续的蒸汽清洗的期间内，蒸汽与工件进行热交换，工件被加温。由于在工件被充分加温的时刻蒸汽变得不会液化，因此蒸汽清洗处理在该时刻结束。

在蒸汽清洗处理结束之后，通过使真空槽内的压力恢复为大气压，使真空槽内的蒸汽尽量液化，将液化的清洗液从真空槽排出。之后，利用真空泵使真空槽内的压力急速地下降。由此，使附着于工件的表面的清洗液暴沸、汽化，使该表面干燥(减压干燥处理)。另外，如上所述在减压干燥处理之前排出积存在真空槽的底部的清洗液的原因在于，防止该清洗液汽化而使减压干燥的效率下降。

专利文献1所记载的蒸汽清洗减压干燥装置仅具有1个真空槽。相对于此，在专利文献2中记载了这样的蒸汽清洗减压干燥装置：具有多个真空槽和与该真空槽的数量相同的台数的真空泵，在各真空槽上各连接有1台真空泵。采用该蒸汽清洗减压干燥装置，由于能够在多个真空槽同时进行蒸汽清洗和减压干燥处理，与仅具有1个真空槽的蒸汽清洗减压干燥装置相比能够增多每单位时间内处理的工件的个数。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-251263号公报

专利文献2：日本特开2001-000930号公报

发明内容

发明要解决的问题

由于真空泵在蒸汽清洗减压干燥装置的构成要素中是较高价的装置，因此若像专利文献2所记载的那样使用多台真空泵，则蒸汽清洗减压干燥装置的装置成本会升高。

本发明要解决的问题在于，提供一种能够在增多每单位时间内处理的工件的个数的同时抑制装置成本的蒸汽清洗减压干燥装置。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题而完成的本发明的蒸汽清洗减压干燥装置的特征在于，其包括：

多个真空槽；

1台真空泵；