[发明专利]用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的装置及方法

权利要求书

1.用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的装置，其特征在于，包括氧气传感器模块、水分传感器模块、气压传感器模块、过渡舱真空控制模块、过渡舱惰性气体控制模块、过渡舱托架进出控制模块和处理器；

所述氧气传感器模块、水分传感器模块、气压传感器模块、过渡舱惰性气体控制模块、过渡舱真空控制模块和过渡舱托架进出控制模块分别与所述处理器电连接；

所述氧气传感器模块、水分传感器模块和气压传感器模块分别采集所述过渡舱内的数据，并发送至所述处理器；

所述处理器根据接收到的数据进行处理，并发送相应的指令控制所述过渡舱惰性气体控制模块和过渡舱真空控制模块的工作状态；

所述处理器根据接收到的数据，判断所述水分和氧气含量是否大于0.01ppm和0.5ppm，若是，则发送指令至所述过渡舱真空控制模块，以使得所述过渡舱真空控制模块对过渡舱进行抽真空，当气压达到预设数值-1.0MPa时，保持30s后停止抽真空；

抽真空结束后，所述处理器发送指令至所述过渡舱惰性气体控制模块，以使得所述过渡舱惰性气体控制模块对过渡舱充入进行惰性气体，当气压为0MPa时，停止惰性气体充入，重复上述抽真空和充入惰性气体3次。

2.根据权利要求1所述的用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的装置，其特征在于，还包括按键模块；

所述按键模块与所述处理器电连接。

3.根据权利要求1所述的用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的装置，其特征在于，还包括限位开关模块；

所述限位开关模块与所述处理器电连接。

4.根据权利要求1所述的用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的装置，其特征在于，还包括显示模块和声音模块；

所述显示模块和声音模块分别与所述处理器电连接。

5.用于真空手套箱过渡舱自动除氧除水分的方法，其特征在于，包括步骤：

氧气传感器模块、水分传感器模块和气压传感器模块分别采集所述过渡舱内的数据，并发送至处理器；

所述处理器根据接收到的数据进行处理，并发送相应的指令控制所述过渡舱惰性气体控制模块和过渡舱真空控制模块的工作状态；

所述的所述处理器根据接收到的数据进行处理，并发送相应的指令控制所述过渡舱惰性气体控制模块和过渡舱真空控制模块的工作状态具体为：

所述处理器根据接收到的数据，判断所述数据是否大于预设值，若是，则发送指令至所述过渡舱真空控制模块，以使得所述过渡舱真空控制模块在预设时间内对过渡舱进行抽真空；

抽真空结束后，所述处理器发送指令至所述过渡舱惰性气体控制模块，以使得所述过渡舱惰性气体控制模块在预设时间内对过渡舱进行惰性气体的充入。