[发明专利]一种红外热释电探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110109228.4 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN112768598B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;树东生 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外 热释电 探测器 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种红外热释电探测器的制备方法，其特征在于，红外热释电探测器包括晶圆，所述晶圆包括从下至上依次设置的硅衬底、介质薄膜层和晶体层，其特征在于，所述晶体层的表面沉积有两个顶部金属电极，其中至少一个顶部金属电极上沉积有红外吸收层，且两个顶部金属电极上沉积的红外吸收层面积不同；所述晶圆背面刻蚀有凹槽，所述凹槽底部为所述晶体层，所述凹槽底部的晶体层上沉积有底部金属电极；
制备方法包括如下步骤：
（1）在晶圆上表面的晶体层上沉积两个顶部金属电极；
（2）在其中一个顶部金属电极上沉积红外吸收层；
（3）在晶圆背面刻蚀部分硅衬底和介质薄膜层形成凹槽，凹槽底部露出晶体层；
（4）在凹槽底部的晶体层上沉积底部金属电极。
2.根据权利要求1所述的一种红外热释电探测器的制备方法，其特征在于，其中只有一个顶部金属电极上沉积有红外吸收层。
3.根据权利要求1所述的一种红外热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述晶圆为钽酸锂晶圆或铌酸锂晶圆，所述晶体层为钽酸锂晶体层或铌酸锂晶体层。
4.根据权利要求1所述的一种红外热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述介质薄膜层材料为SiO2、SiN或SiON。
5.根据权利要求1所述的一种红外热释电探测器的制备方法，其特征在于，所述顶部金属电极和底部金属电极的材料为铂、金、银或铝。
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