[发明专利]荧光X射线分析装置

说明书

本发明提供一种荧光X射线分析装置，能够防止在真空气氛下对液体试样进行测定。处理装置(60)构成为按照由使用者设定的分析条件来进行试样的分析。分析条件包括用于规定测定装置(20)的测定室内的气氛气体的状态的气氛条件。在测定装置(20)设置有排出测定室内的空气的排气装置。在由探测试样是否为液体的探测装置探测出试样为液体的情况下，在气氛条件被设定为了真空气氛时，处理装置(60)禁止或停止排气装置的动作。

技术领域

本公开涉及一种荧光X射线分析装置。

背景技术

在对试样照射X射线并通过测定从试样发出的荧光X射线来分析试样的构成元素的荧光X射线分析中，如果在大气中进行测定，则X射线因大气中的元素而衰减，特别是在轻元素分析中往往对测定结果造成影响。因此，为了排除测定时的气氛气体的影响来实现高灵敏度的测定，排出测定室内的大气或者用比大气轻的气体来置换测定室内的大气。

例如，在日本特开平10-54810号公报(专利文献1)中公开了如下一种X射线分析装置：能够在排出了测定室内的大气后的真空气氛下或者用氦气置换了测定室内的大气后的氦气氛下进行测定。此外，在该X射线分析装置中，在测定室内设置能够载置多个试样的试样台，使试样台旋转来使多个试样依次移动到观察位置，由此能够连续地测定多个试样(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-54810号公报

发明内容

发明要解决的问题

在试样中，除了存在固体、粉末之外，还存在液体。由于液体试样在真空气氛下挥发，因此针对液体试样选择大气气氛或氦气氛。如果针对液体试样选择真空气氛，则产生如以下那样的各种问题。即，由于液体试样气化，因此测定室内的真空度有可能达不到目标水平。因此，进行测定室内的排气的排气装置可能会超负荷。另外，由于液体试样的量或浓度发生变化，因此有可能无法进行准确的测定。关于这样的问题和解决方式，在专利文献1中没有特别地研究。

本公开是为了解决上述问题而完成的，本公开的目的在于提供一种能够防止在真空气氛下对液体试样进行测定的荧光X射线分析装置。

用于解决问题的方案

本公开的荧光X射线分析装置向试样的表面照射X射线并检测从表面产生的荧光X射线，由此对试样进行分析，该荧光X射线分析装置具备测定室、排气装置、控制装置以及探测装置。在测定室中进行X射线的照射以及荧光X射线的检测。排气装置构成为排出测定室内的空气。控制装置构成为按照由使用者设定的分析条件来进行试样的分析。探测装置构成为探测试样是否为液体。分析条件包括用于规定测定室内的气氛气体的状态的气氛条件。控制装置构成为：在由探测装置探测出试样是液体的情况下，在气氛条件被设定为了真空气氛时，禁止或停止排气装置的动作。

发明的效果

在上述荧光X射线分析装置中，在由探测装置探测出试样是液体的情况下，在气氛条件被设定为了真空气氛时，禁止排气装置的动作，或者，如果排气装置正在进行动作则使之停止。因而，根据该荧光X射线分析装置，能够防止在真空气氛下对液体试样进行测定。

附图说明

图1是概要地示出本发明的实施方式1所涉及的荧光X射线分析装置的整体结构的图。

图2是示出图1所示的测定装置的结构例的图。

图3是示出图1所示的搬送装置的把持部的结构例的图。

图4是示出样品池的结构例的剖视图。