[发明专利]一种半导体扩散用受主源材料、受主源扩散纸及其应用

权利要求书

1.一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源材料包括受主源和成膜剂，所述受主源为无定型硼、铝单质、硼铝合金、氮化硼、碳化硼、硼酸铝晶须、硼酸镓、硼酸铟、硼酸铵及各种含有硼酸、氧化硼的硅凝胶中的至少一种。

2.如权利要求1所述的半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源的总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤10ppm。

3.如权利要求1所述的半导体扩散用受主源材料，其特征在于，受主源的总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤1ppm。

4.如权利要求1所述的半导体扩散用受主源材料，其特征在于，受主源的总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤0.1ppm。

5.如权利要求1-4任一所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源的粒径为5-50000nm。

6.如权利要求1所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述成膜剂的重量份数为10～95份，所述受主源的重量份数为0.1～90份。

7.如权利要求1所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述成膜剂的重量份数为15～85份，所述受主源的重量份数为5～65份。

8.如权利要求1或6或7任一所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述成膜剂可以为虫胶、明胶、琼脂、淀粉、纤维素及前述五种物质的衍生物、PVA、EVA、PP、PE、PVP、PU、聚乙烯醇缩醛、火棉胶、玉米朊、羧甲基纤维素、酚醛树脂、二乙二醇、PEG、TEOS、甘油、硅溶胶中的至少一种；所述成膜剂中总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤10ppm。

9.如权利要求1所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源材料还包括分散剂，所述分散剂为硅粉、碳化硅、α-氧化铝中的至少一种，所述分散剂中总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤10ppm。

10.如权利要求9所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述分散剂的粒度为1～80μm。

11.如权利要求9所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述分散剂的重量份数为0～85份。

12.如权利要求9所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述分散剂的重量份数为5～60份。

13.如权利要求1所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源材料还包括色素，所述色素为天然色素、合成色素中的至少一种；所述色素中总铍、钠、镁、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铷、铯、锆、钼、银、镉、钡、钇、铂、金、汞、铅的金属含量≤10ppm。

14.如权利要求13所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述色素的重量份数为0～1份。

15.如权利要求13所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述色素的重量份数为0～0.1份。

16.如权利要求1所述的一种半导体扩散用受主源材料，其特征在于，所述受主源材料还包括溶剂，所述溶剂为乙醇、异丙醇、丙酮、乙酸乙酯、水中的至少一种。