[发明专利]机械零件的表面处理方法在审
| 申请号： | 202110116555.2 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114807835A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李万品 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械零件 表面 处理 方法 | ||
1.一种机械零件的表面处理方法，包括：
清洗并干燥机械零件；
将所述机械零件置于腔体内，并使所述腔体具有预定真空度；
使用金属靶材对所述机械零件进行离子清洗；
在所述机械零件的表面沉积形成金属膜；以及
使用碳源在所述金属膜上沉积形成掺杂合金的DLC复合膜。
2.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述预定真空度为4.0×10-3-8.0×10-3Pa。
3.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述离子清洗的步骤包括：向所述腔体冲入氩气，打开射频离子源，控制工作电压为200-250V,离子束流为150-200mA，工作时间为5-10min，温度为80-100℃。
4.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：沉积形成金属膜的步骤包括：控制氩气和氧气的流量，采用中频溅射电源形成所述金属膜。
5.如权利要求4所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：沉积形成金属膜的步骤还包括：控制溅射压力为0.01-0.05Pa，溅射功率为300-500W，温度为80-90℃，沉积时间为25-35min。
6.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述钨膜的厚度为40-60nm。
7.如权利要求4所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述氧气的流量为100-200sccm，所述氩气的流量为400-600sccm。
8.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：沉积形成掺杂合金的DLC复合膜的步骤包括：通入甲烷气体，提高腔体内的压力，控制温度为80-90℃，沉积时间为60-90min。
9.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述DLC复合膜的厚度为100-130nm。
10.如权利要求1所述的机械零件的表面处理方法，其特征在于：所述金属靶材为钨靶材，所述金属膜为钨膜。
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