[发明专利]一种氮化硼涂层蒸发舟及其制备方法在审
| 申请号： | 202110116731.2 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112898049A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;胡昌凯 | 申请（专利权）人： | 赛瑞特科技（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C23C16/34;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 刘继富;王春伟 |
| 地址： | 350018 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 涂层 蒸发 及其 制备 方法 | ||
1.一种氮化硼涂层蒸发舟的制备方法，所述方法包括：
将硼源置于氮化硼材质的反应室底部，将石墨蒸发舟基体置于所述反应室并使石墨蒸发舟基体与硼源之间保持20～50mm的距离，其中，所述硼源选自三氧化二硼和硼酸中的任一种；
将反应室置于化学气相沉积炉，将化学气相沉积炉抽真空后升温至500～700℃后通入氮气，使化学气相沉积炉内保持正压并在反应中持续通入氮气；
使化学气相沉积炉升温至反应温度1750～1950℃，保温时间为1～8h，在石墨蒸发舟基体上沉积生长氮化硼涂层。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，硼源添加量与石墨蒸发舟基体表面积之间的关系为0.2～0.5g/cm2。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，化学气相沉积炉的升温速率为1～10℃/min。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述反应温度为1800～1900℃。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述保温时间为3～6h。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，通入氮气后，维持化学气相沉积炉内部压强大于外界环境压强1～1000Pa。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其中，多个石墨蒸发舟基体在反应室中的间隔为2～10mm。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其中，每个反应室中设置的蒸发舟基体数量为3～50个。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其中，多个反应室在化学气相沉积炉中堆叠设置。
10.一种根据权利要求1～9任一项所述的制备方法制得的氮化硼涂层蒸发舟，所述蒸发舟的氮化硼涂层的厚度为0.15～0.3mm，导热系数为30～35W/M.K，密度为2.0～2.2g/cm3。
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