[发明专利]一种反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统

说明书

一种反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统，属于电子衍射技术领域。包括主机，在主机上设置有荧光屏，在荧光屏的前侧设置有工业相机（5），其特征在于：在所述的荧光屏处安装有支架，支架的端部套设在荧光屏的外圈，所述工业相机（5）固定在支架的另一端并正对荧光屏。在本反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统中，通过设置支架，支架的端部套设在荧光屏的外圈，有效排除了外部因素对荧光屏成像时的影响，提高了工业相机对图像捕获的质量以及衍射图案的清晰度，进一步避免了对衍射图案后续处理的影响。通过在支撑筒的端部上方设置安装平台，通过安装平台在支撑筒的内表面形成平面，有助于将工业相机固定在支撑筒的内部。

技术领域

一种反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统，属于电子衍射技术领域。

背景技术

反射式高能电子衍射仪（Reflection High-Energy Electron Diffraction，以下简称RHEED）是观察晶体生长最重要的实时监测工具。它通过非常小的掠射角将高能电子掠射到晶体表面，在前向的荧光屏上形成衍射图案，并由相机对衍射图案进行拍摄。通过衍射图案获得薄膜厚度、组分以及晶体生长机制等重要信息，直观显示晶体生长模式、结构特性和表面平整性。还可以通过不同方向的衍射图案判断晶体生长取向，从衍射条纹的间距得出晶格参数等。

在晶体生长过程中，如果是层层生长的，则每个晶胞生长过程为一个周期，在每个周期内，衍射峰的强度会周期变化，根据衍射峰强度的振荡，RHEED能精确给出薄膜或晶体生长的原子和分子层数、生长模式等信息。由于RHEED是通过衍射光斑位置来得到晶格间距等信息，通过光斑位置的变化实现在线监控的功能，因此要求图像捕获的质量较高，然而在现有技术中，由于外部原因会对荧光屏成像造成影响，因此相机在拍摄过程之后，容易出现衍射图案不够清晰的情况，进一步影响了对衍射图案的后续处理。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种通过设置支架，支架的端部套设在荧光屏的外圈，有效排除了外部因素对荧光屏成像时的影响，提高了工业相机对图像捕获的质量以及衍射图案的清晰度，进一步避免了对衍射图案后续处理影响的反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：该反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统，包括主机，在主机上设置有荧光屏，在荧光屏的前侧设置有工业相机，其特征在于：在所述的荧光屏处安装有支架，支架的端部套设在荧光屏的外圈，所述工业相机固定在支架的另一端并正对荧光屏。

优选的，所述的支架包括支撑筒，在支撑筒的一端设置有固定边，工业相机固定在支撑筒的另一端。

优选的，在所述固定边的外圈轴向开设有若干固定孔，固定边通过固定孔固定在荧光屏的外圈。

优选的，所述固定边的直径大于支撑筒的直径。

优选的，在所述支撑筒一端端部的上方设置有安装平台，安装平台在支撑筒的内表面形成平面，所述的工业相机通过该平面固定在支撑筒的内部。

优选的，在所述支撑筒安装工业相机一端的外端面上还开设有多个安装孔，通过安装孔固定有后盖。

优选的，所述工业相机的输出端与计算机连接。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果是：

在本反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统中，通过设置支架，支架的端部套设在荧光屏的外圈，有效排除了外部因素对荧光屏成像时的影响，提高了工业相机对图像捕获的质量以及衍射图案的清晰度，进一步避免了对衍射图案后续处理的影响。

通过在支撑筒的端部上方设置安装平台，通过安装平台在支撑筒的内表面形成平面，有助于将工业相机固定在支撑筒的内部。

附图说明

图1为反射式高能电子衍射仪的图像采集处理系统采集支架结构示意图。