[发明专利]电子级化学品采样系统和方法

权利要求书

1.一种电子级化学品采样系统，其特征在于,包括密封的通风橱(1)、设置在所述通风橱(1)内的工作台(2)、用于向所述通风橱(1)内输送化学品的化学品管路(3)、设置在所述通风橱(1)内的操作装置、进气管(4)、排气管和取样口，所述进气管(4)用于向所述通风橱(1)内持续通入洁净空气，所述排气管用于排出所述通风橱(1)内的气体，所述化学品管路(3)上设置有阀门(5)，所述操作装置用于操纵放置在工作台(2)上的取样瓶(23)，控制取样瓶(23)容纳所述化学品管路(3)中放出的待采样的化学品并封闭所述取样瓶(23)，所述取样口用于取放所述通风橱(1)内的所述取样瓶(23)。

2.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述进气管(4)设置在所述通风橱(1)的侧面底部。

3.根据权利要求2所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述进气管(4)上设置有过滤器(6)。

4.根据权利要求2所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述排气管设置在所述通风橱(1)的顶部并且远离所述进气管(4)，所述排气管包括酸性废气排气管(7)和碱性废气排气管(8)。

5.根据权利要求4所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述酸性废气排气管(7)和碱性废气排气管(8)位于所述通风橱(1)外侧的一端均连接有废气处理装置。

6.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述取样口包括内取样门(9)、外取样门(10)和连通所述内取样门(9)和外取样门(10)的取样空间，所述取样箱(11)的内部空间形成所述取样空间，所述内取样门(9)开设在所述通风橱(1)和取样箱(11)的侧壁上，所述外取样门(10)开设在所述取样箱(11)上。

7.根据权利要求6所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述取样箱(11)上设置有用于向所述内部空间中通入保护气体的保护气体接入口。

8.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述操作装置包括设置在所述通风橱(1)内的机械手(12)。

9.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述通风橱(1)的侧壁上设置有透明窗口；所述操作装置包括设置在所述通风橱(1)上的手套箱(13)。

10.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述工作台(2)能够上下调节高度。

11.根据权利要求1所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述通风橱(1)上设置有超纯水管路(14)，所述超纯水管路(14)的下端连接有超纯水冲洗枪(15)，所述超纯水冲洗枪(15)位于所述通风橱(1)内，所述通风橱(1)底部开设有酸性废液排出口(16)和碱性废液排出口(17)。

12.根据权利要求11所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，所述工作台(2)上设置有取样区(18)、取样瓶放置区(19)和取样瓶清洗区(20)，所述取样区(18)位于所述化学品管路(3)的正下方，所述取样瓶清洗区(20)位于所述超纯水冲洗枪(15)的正下方，所述取样瓶放置区(19)位于所述取样区(18)和取样瓶清洗区(20)之间。

13.根据权利要求11所述的电子级化学品采样系统，其特征在于，还包括底柜(21)，所述通风橱(1)安装在所述底柜(21)上，所述底柜(21)内设置有酸液回收罐和碱液回收罐，所述酸性废液排出口(16)通过管路与所述酸液回收罐连接，所述碱性废液排出口(17)通过管路与所述碱液回收罐连接。