[发明专利]一种阳极结构、电极机构及电镀系统

说明书

本发明涉及电镀技术领域，具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统，其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面，且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内。通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件，通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内，对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加，使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布，克服导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。

技术领域

本发明涉及电镀的技术领域，具体涉及一种阳极结构、电极机构及电镀系统。

背景技术

电镀是指借助外界直流电的作用，以使导电体表面沉积金属或合金层。在进行电镀时，将电极的阳极电连接于电镀液中，并将电极的阴极与具有导电性的被加工物相连接。当电流导通时，溶液中带有正电的阳离子朝向电路的阴极游动，在被加工物的表面发生还原，并形成覆盖被加工物表面的电镀层。

在电镀的过程中，使用可溶性阳极或不溶性阳极来提供离子、电子，使阴极工件得到所需的电镀层，传统的电镀设备，在工件上形成电镀层时，在电流流动时，周围产生磁场，根据电磁感应定律，会感应与电流反向的电场(电动势)阻碍电流的流动，因此在电流输送的过程中，中间电流收到的阻力较大，而边缘电流受到的阻力较小，因此会出现工件的工件本体上电流分布不均匀的情况，位于边缘部分的工件本体是高电位高电流密度区，中间部分的工件本体是低电位低电流密度区，因此会在电镀结束后，工件边缘部分的电镀层比中间部分的电镀层相对厚，进而导致工件的电镀效果不均匀。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的工件受到的电流不均匀导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷，从而提供一种阳极结构，包括：主阳极件和至少一个辅阳极件，分别与外部电源的正极电性连接，所述主阳极件较所述辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件，任一所述辅阳极件的有效作用面小于所述主阳极件的有效作用面，且所述辅阳极件的有效作用面在所述阴极件的阴极面上的投影落入所述阴极面的四周边缘之内。

可选地，上述阳极结构中，所述辅阳极件为至少两个，所有所述阳极件层叠且间隔分布，相邻两个辅阳极件中，靠近所述主阳极件的辅阳极件的有效作用面小于远离主阳极件的辅阳极件的有效作用面。

可选地，上述阳极结构中，还包括在所述主阳极件与所述辅阳极件之间设置至少一个第一遮蔽件，所述第一遮蔽件至少遮挡住所述辅阳极件上面向主阳极件一侧的第一表面的部分边缘；和/或

还包括第二遮蔽件，所述主阳极件位于所述辅阳极件和所述第二遮蔽件之间，所述第二遮蔽件至少遮挡住所述主阳极件上面向阴极件一侧的第二表面的部分边缘。

可选地，上述阳极结构中，所述第一遮蔽件相对于所述辅阳极件可移动设置，以改变所述第一遮蔽件遮挡所述第一表面的面积；和/或

所述第二遮蔽件相对于所述主阳极件可移动设置，以改变所述第一遮蔽件遮挡所述第一表面的面积。

可选地，上述阳极结构中，所述第一遮蔽件呈第一框体，所述第一框体的内腔作为第一避让通道；和/或

所述第二遮蔽件呈第二框体，所述第二框体的内腔作为第二避让通道。

可选地，上述阳极结构中，所述主阳极件呈网格状。

可选地，上述阳极结构中，所述辅阳极件和/或所述主阳极件呈板状。

可选地，上述阳极结构中，所述电镀槽内设有平行分布的至少两个连接杆；

任一主阳极件通过第一悬挂件挂设在一个连接杆上，任一辅阳极件通过第二悬挂件挂设在另一个连接杆上。