[发明专利]一种三氯氢硅的制备方法在审
申请号: | 202110123801.7 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN112456500A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 苏发兵;朱永霞;李晶 | 申请(专利权)人: | 中国科学院过程工程研究所 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三氯氢硅 制备 方法 | ||
1.一种三氯氢硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以氯化亚铜和/或氯化铜为催化剂,采用硅氢氯化法合成三氯氢硅。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述催化剂的粒径为0.5~50 μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述催化剂的粒径标准偏差≤5%。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述硅氢氯化法的反应原料包括硅粉以及氯化氢。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述硅氢氯化法采用固定床或流化床进行。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述硅氢氯化法中催化剂的加入量为反应原料总质量的0.1~5%。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述硅氢氯化法的反应温度为200~400 ℃。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述硅氢氯化法的反应时间为1~8 h。
9.根据权利要求1-8所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
以粒径为0.5~50 μm以及粒径标准偏差≤5%的氯化亚铜和/或氯化铜为催化剂,所述催化剂添加量为反应原料总质量的0.1~5%,采用硅氢氯化法,以硅粉和氯化氢为反应原料,200~400 ℃下反应1~8 h得到所述三氯氢硅。
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