[发明专利]架空运输车辆与运输紧急产品的方法

说明书

描述了一种与自动物料搬运系统关联的架空运输车辆(overhead transportvehicle)与运输紧急产品的方法。架空运输车辆为自动物料搬运系统提供特征，当控制自动物料搬运系统中交通的逻辑算法由于意外问题而无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒(FOUP)自一个工具传输至后续工具时，自动物料搬运系统能够通过这些特征减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的次数。在此描述了架空运输车辆上的帮助晶圆厂操作员发现有问题产品的指示器。亦描述了在主电源故障的情况下使用的架空运输车辆上的备用电源。

技术领域

本揭露的一些实施例是关于自动物料搬运系统，尤其是关于架空运输车辆与运输紧急产品的方法。

背景技术

为了生产半导体装置，作为半导体装置的原材料的半导体基板，诸如硅晶圆，必须经过一系列复杂且精密处理步骤。通常，为了完成此系列处理步骤，必须将晶圆自一台制造设备实体地运输至另一台制造设备。在这些制造设备中，在半导体基板上进行各种制程，诸如扩散、离子植入、化学气相沉积、光微影术、蚀刻、物理气相沉积及化学机械研磨。为了在一系列处理步骤中及在半导体制造工厂(通常称为“fab”)的不同制造设备之间有效地移动半导体基板，多个半导体基板(晶圆)容纳在前开式晶圆传送盒(front opening unifiedpod；FOUP)中并且在晶圆厂中实现自动物料搬运系统(automated material handlingsystem；自动物料搬运系统)，以将前开式晶圆传送盒自一台制造设备移动至另一台制造设备。

通常，在晶圆厂中，多个架空运输车辆为自动物料搬运系统的一部分。架空运输车辆用于通过在架空轨道上自一台处理设备(通常称为“工具”)运输至另一工具来运输前开式晶圆传送盒。

发明内容

根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含电力控制电路与备用电源。电力控制电路用于判定架空运输车辆的电源。电力控制电路将电源自主电源切换至备用电源。

根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含通讯电路、记忆体、优先指示器与处理电路。通讯电路自自动物料搬运系统(Automated Material Handling System；自动物料搬运系统)中的控制器接收用于产品的处理步骤顺序，该处理步骤顺序包含在处理步骤顺序中的两个或两个以上处理步骤之间的间隔的时间约束信息。记忆体存储用于产品的处理步骤顺序。优先指示器设置在架空运输车辆的外部。处理电路基于产品的紧急位准在优先指示器上输出指示。

根据本揭示内容的一或多个实施例，一种运输紧急产品的方法包含判定产品的紧急位准。方法包含基于产品的所判定的紧急位准显示紧急位准状态的步骤。方法包含将救援信号发送至自动物料搬运系统(automated material handlingsystem；自动物料搬运系统)。方法包含判定到达产品的目的地的最短路线。

附图说明

结合附图，根据以下详细描述可以最好地理解本揭示内容的各态样。注意，根据行业中的标准操作，各种特征未按比例绘制。实际上，为了讨论清楚起见，各种特征的尺寸可任意增加或减小。

图1为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上运送产品的示意图；

图2为根据本揭示内容的一或多个实施例的包含优先指示器216的架空运输车辆200的示意图；

图3为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上与自动物料搬运系统中的控制器700通讯的示意图；

图4为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的用于判定架空运输车辆200的电源的方法的流程图；

图5为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的一种用于在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法的流程图；

图6为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的另一种用于在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法的流程图；