[发明专利]一种气体分析系统

权利要求书

1.一种气体分析系统(100)，其特征在于，包括：

减振外壳(110)；

气体分析装置(130)；和

恒温装置(150)；

其中，所述气体分析装置(130)设置在所述减振外壳(110)中；所述恒温装置(150)用于所述控制气体分析系统(100)的温度。

2.根据权利要求1所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减振外壳(110)包括箱体(112)和减震装置(115)；所述减震装置(115)安装在所述箱体(112)上；所述气体分析装置(130)设置在所述箱体(112)中。

3.根据权利要求2所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述箱体(112)为密封箱体。

4.根据权利要求3所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)包括设置在所述箱体(112)底部的多个减震器(1153)。

5.根据权利要求4所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)还包括底座(1156)；所述箱体(112)通过所述减震器(1153)设置在所述底座(1156)上。

6.根据权利要求5所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述底座(1156)包括安装支架(11562)和防护罩(11564)；所述箱体(112)通过所述减震器(1153)设置在所述安装支架(11562)上；所述防护罩(11564)垂直地设置在所述安装支架(11562)上并位于所述箱体(112)的侧方。

7.根据权利要求4所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震器(1153)为弹簧减震器、减震橡胶垫或液压减震器。

8.根据权利要求3所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)包括减震板(1157)和减震器(1158)；所述减震板(1157)和所述减震器(1158)设置在所述箱体(112)的内部，所述减震板(1157)通过所述减震器(1158)安装在所述箱体(112)的内侧的底部；所述气体分析装置(130)安装在所述减震板(1157)上。

9.根据权利要求8所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震器(1158)为弹簧减震器、减震橡胶垫或液压减震器。

10.根据权利要求8所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)还包括设置在所述箱体(112)外部的外部减震器。

11.根据权利要求10所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)还包括底座(1159)；所述箱体(112)通过所述外部减震器设置在所述底座(1159)上。

12.根据权利要求8所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述减震装置(115)还包括底座(1159)；所述箱体(112)通过螺栓安装在所述底座(1159)上。

13.根据权利要求11或12所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述底座(1159)包括安装支架和防护罩；所述箱体设置在所述安装支架上；所述防护罩垂直地设置在所述安装支架上并位于所述箱体(112)的侧方。

14.根据权利要求3所述的气体分析系统(100)，其特征在于：所述气体分析装置(130)包括：分子泵组(131)、离子泵(132)、阀门(123)、真空计(134)、质谱仪(135)、真空腔室(136)和电控柜(137)；所述分子泵组(131)、离子泵(132)、阀门(123)、真空计(134)、质谱仪(135)、真空腔室(136)和电控柜(137)全部设置在所述箱体(112)内部。