[发明专利]一种半导体设备的张力自动监控系统

权利要求书

1.一种半导体设备的张力自动监控系统，其特征在于，包括：

机台本体，所述机台本体上设置有皮带，所述皮带用于传送晶圆；

轨道支架，位于所述机台本体的一侧，且与所述皮带平行设置；

轨道单元，设置在所述轨道支架上；

压力测量单元，与所述轨道单元滑动连接，且与所述皮带位于同一水平方向上；

驱动机构，与所述压力测量单元连接，所述驱动机构用于驱动所述压力测量单元；以及

控制器，与所述驱动机构和所述压力测量单元连接；

其中，所述驱动机构驱动所述压力测量单元向所述皮带方向运动，使所述压力测量单元接触所述皮带，所述压力测量单元每次前进的距离相同。

2.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述压力测量单元包括：

压力测量器，位于所述轨道单元上，且与所述轨道单元滑动连接；以及

测量探头，位于所述压力测量器的一端，所述测量探头朝向所述皮带所在位置。

3.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述轨道支架距离所述皮带的水平距离大于所述压力测量单元每次前进的距离。

4.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述轨道单元包括：

第一轨道，设置在所述轨道支架上；

第二轨道，设置在所述轨道支架上，且与所述第一轨道平行；以及

连接轨道，与所述第一轨道和所述第二轨道连接；

其中，所述第一轨道、所述第二轨道、所述连接轨道和所述轨道支架围成一封闭的轨道。

5.根据权利要求4所述的监控系统，其特征在于，所述第一轨道、所述第二轨道和所述连接轨道为一体结构。

6.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述压力测量单元的底部安装有滑轮，所述滑轮与所述轨道单元滑动连接。

7.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述驱动机构设置在所述轨道单元上，且与所述压力测量单元之间采用活塞式连接。

8.根据权利要求7所述的监控系统，其特征在于，所述驱动机构包括：

驱动电机，设置在所述轨道单元的一端；

螺纹杆，与所述驱动电机连接；以及

螺纹套，与所述螺纹杆螺纹连接，所述螺纹套上设置有所述压力测量单元。

9.根据权利要求7所述的监控系统，其特征在于，所述驱动机构为标准气缸。

10.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述控制器为单片机、可编程逻辑控制器或者数字信号处理器。