[发明专利]一种适应高集成度半导体模块的封装结构在审
申请号: | 202110128123.3 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN113161301A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 刘石桂;朱德进;王婕;张伟;钱伟;沈广飞;李前宝;马阳阳 | 申请(专利权)人: | 天通凯美微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 王光建 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适应 集成度 半导体 模块 封装 结构 | ||
本发明公开了一种适应高集成度半导体模块的封装结构,包括基板、焊盘、集成电路封装、金球、锡球、开关、滤波器和热固形树脂,所述焊盘设于基板上,所述集成电路封装设于焊盘上,所述金球设于滤波器上,所述锡球设于开关上,所述金球与集成电路封装相连,所述锡球与集成电路封装相连,所述热固形树脂设于开关和滤波器上。本发明属于半导体模块封装技术领域,具体是一种适应高集成度半导体模块的封装结构,降低锡球、铜柱因贴装精度不够导致卡球、虚焊的风险,解决了芯片金球凸点超声焊接的不稳定因素,基板的焊盘开窗不受间距大小受限制。
技术领域
本发明属于半导体模块封装技术领域,具体是指一种适应高集成度半导体模块的封装结构。
背景技术
随着市场需求,消费类电子产品的尺寸要求越来越小,所搭载核心半导体器件的集成度要求越来越高,对模块尺寸小型化要求越来越高,传统的封装已经无法满足高集成、高性能模块产品。目前常见的倒装方式有如下分类:采用芯片预先加工的凸点(锡球或铜柱),通过倒装的方式,使芯片与基板上的焊盘导通,再进行高温回流炉焊接,达到芯片与基板的结合效果加固;1)声表面波模块产品若采用锡球倒装工艺,则因开关芯片凸点数量比较多,凸点与凸点之间间距太小,对应的基板焊盘开窗要小于凸点直径,所以倒装的时候芯片凸点与基板焊盘容易产生卡球,而造成虚焊,致使损耗变大或者完全失效。2)声表面波模块产品若采用铜柱倒装工艺,在高低温冲击可靠性条件,在铜柱与芯片结合处容易产生裂痕,导致产品损耗变大或者完全失效。采用芯片植金球(金凸点),通过倒装的方式,借用设备的超声波能量、压力、温度等物理特性,使芯片与基板上的焊盘导通结合;声表面波模块产品若采用金球超声倒装工艺,则因金球高度一致性不受控,容易与基板结合处产生裂痕,导致产品损耗变大或者完全失效。
发明内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本发明提供一种适应高集成度半导体模块的封装结构,降低锡球、铜柱因贴装精度不够导致卡球、虚焊的风险,解决了芯片金球凸点超声焊接的不稳定因素,基板的焊盘开窗不受间距大小受限制。
本发明采取的技术方案如下:本发明一种适应高集成度半导体模块的封装结构,包括基板、焊盘、集成电路封装、金球、锡球、开关、滤波器和热固形树脂,所述焊盘设于基板上,所述集成电路封装设于焊盘上,所述金球设于滤波器上,所述锡球设于开关上,所述金球与集成电路封装相连,所述锡球与集成电路封装相连,所述热固形树脂设于开关和滤波器上。
一种适应高集成度半导体模块的封装结构的封装方法,包括如下步骤:
1)准备芯片;
2)在部分芯片上植金球,在部分芯片上植锡球;
3)根据工艺技术要求,将芯片通过Flip-Chip方式贴装在基板上的焊盘上;
4)芯片贴装后经过高温回流炉,实现芯片与基板焊盘的结合;
5)在芯片的表面贴上热固型树脂进行保护。
进一步地,步骤1)所述的芯片包括开关和滤波器等。
本发明取得的有益效果如下:本方案一种适应高集成度半导体模块的封装结构,降低锡球、铜柱因贴装精度不够导致卡球、虚焊的风险,解决了芯片金球凸点超声焊接的不稳定因素,基板的焊盘开窗不受间距大小受限制。
附图说明
图1为本发明适应高集成度半导体模块的封装结构的分离状态示意图;
图2为本发明适应高集成度半导体模块的封装结构的焊接状态示意图。
其中,1、基板,2、焊盘,3、集成电路封装,4、金球,5、锡球,6、开关,7、滤波器,8、热固形树脂。
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。
具体实施方式
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