[发明专利]一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备及退火方法

权利要求书

1.一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，包括若干个平行布置的退火炉单元，相邻退火炉单元之间不接触，相邻退火炉单元之间的间隙为基板玻璃过道，所述退火炉单元包括若干个依次堆积的单元外壳(2)，单元外壳(2)的顶部外壁上均可拆卸连接有挡板(1)，挡板(1)和相邻的单元外壳(2)可拆卸连接，单元外壳(2)为两端开口结构，单元外壳(2)的内腔中设置有加热砖(4)，位于基板玻璃过道的单元外壳(2)上设置有均热板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，还包括保温砖(3)，所述保温砖(3)放置在单元外壳(2)的内腔中，保温砖(3)为凹型结构，加热砖(4)设在保温砖(3)的凹槽内，保温砖(3)的凹槽开口端和单元外壳(2)的内腔留有间隙。

3.根据权利要求1所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，所述加热砖(4)的端面设置有加热丝槽，所述加热丝槽内缠绕有加热丝。

4.根据权利要求1所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，相邻退火炉单元之间通过退火炉侧板(7)连接，退火炉侧板(7)覆盖单元外壳(2)的开口。

5.根据权利要求4所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，所述退火炉侧板(7)包括依次层叠的第一金属板材、中间保温层和第二金属板材。

6.根据权利要求4所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，退火炉侧板(7)上开有若干个开孔。

7.根据权利要求1所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，所述均热板(6)为陶瓷材料。

8.根据权利要求1所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备，其特征在于，所述保温砖(3)采用氧化铝空心砖。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备的退火方法，其特征在于，包括以下过程：

退火炉单元的入口向退火炉单元的出口方向，每个单元外壳(2)内的加热砖(4)的温度呈下降趋势；

加热砖(4)的两端分别朝向单元外壳(2)的两端开口，加热砖(4)两端的加热功率相同，加热砖(4)两端的加热功率大于加热砖(4)两端之间的加热功率。

10.根据权利要求9所述的一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备的退火方法，其特征在于，退火炉单元的入口向退火炉单元的出口方向，退火炉单元的长度依次分为上退火区和下退火区，上退火区中加热砖(4)的温度下降速率低于下退火区中加热砖(4)的温度下降速率。