[发明专利]一种具有吹气保护的MEMS MIC在审
| 申请号： | 202110132717.1 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112449294A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;刘志永;朱法超 | 申请（专利权）人： | 山东新港电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 潍坊中润泰专利代理事务所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 吹气 保护 mems mic | ||
1.一种具有吹气保护的MEMS MIC，包括MEMS外壳（1），其特征在于：所述MEMS外壳（1）下端连接有PCB板（2），所述PCB板（2）与MEMS外壳（1）之间形成音腔，所述音腔内安装有MEMS声压传感器（6），所述MEMS声压传感器（6）与PCB板（2）固定连接，所述PCB板（2）为多层结构PCB板，所述PCB板（2）上设有入声孔组件（3），入声孔组件（3）包括第一入声孔（31）和第二入声孔（33），所述PCB板（2）内蚀刻有分支音道（32），所述第一入声孔（31）与第二入声孔（33）之间通过分支音道（32）连通，所述PCB板（2）上设有弹性阻音片（4），所述弹性阻音片（4）与第二入声孔（33）相对设置，所述弹性阻音片（4）一段固定在PCB板（2）上，所述弹性阻音片（4）另一端游离设置。
2.根据权利要求1所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述PCB板（2）上连接有ASIC芯片（5），所述ASIC芯片（5）在音腔内通过PCB板（2）上的电气线路与MEMS声压传感器（6）连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述MEMS声压传感器（6）包括硅振膜（62）和硅背极板（61），所述硅振膜（62）与硅背极板（61）平行设置，所述硅背极板（61）边缘固定连接有支撑套筒（63），所述支撑套筒（63）与PCB板（2）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入声孔（31）与MEMS声压传感器（6）相对设置。
5.根据权利要求1所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述第二入声孔（33）与弹性阻音片（4）相对设置。
6.根据权利要求1所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入声孔（31）和第二入声孔（33）中至少一个贯穿PCB板（2）。
7.根据权利要求6所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述第一入声孔（31）贯穿PCB板（2），所述第一入声孔（31）连通音腔和外部。
8.根据权利要求6所述的一种具有吹起保护的MEMS MIC，其特征在于：所述第二入声孔（33）不贯穿PCB板（2），所述第二入声孔（33）连通音腔与分支音道（32）。
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