[发明专利]一种氧化铟掺钨靶材的制备方法

权利要求书

1.一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（一）含铟原料的制备：

（1）将铟金属用有机酸进行溶解，得到有机酸铟溶液；所述的有机酸为只含碳氢氧三种元素的有机酸；所述有机酸的添加量为铟金属与有机酸反应所需量的1～4倍；

（2）有机酸铟溶液作为含铟溶液待用或者进一步向其中加入醇，使其产生氢氧化铟沉淀，然后得含氢氧化铟沉淀的混合液待用，所述的醇为只含碳氢氧三种元素的醇；

（二）混入含钨原料：

（1）称取一定量的仲钨酸铵或偏钨酸铵，溶解于上述有机酸铟溶液或含氢氧化铟沉淀的混合液中；仲钨酸铵或偏钨酸铵的加入量按换算成氧化铟与氧化钨质量比为（90～99.8）:（10～0.2）计；

（2）所得为液体时，只需搅拌，即可待用；对于有沉淀的混合液，搅拌使其成为均匀的悬浊液，待用；

（三）喷雾干燥：将所得含有铟钨元素的液体或悬浊液，用喷雾干燥的方式进行干燥，即得铟钨元素混合均匀的粉末，为IWO前驱体；

（四）煅烧：将所得IWO粉末前驱体，用600～1000℃温度，在空气或氧气气氛中进行煅烧0.5～20小时，即得IWO粉末；

（五）用IWO粉末制备靶材：采用现有的常规成型技术进行成型，并在氧气气氛中，用1400～1550℃的温度进行1～25小时的烧结，即得IWO靶材。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，其特征在于：所述的有机酸是甲酸、过氧乙酸、乙酸或乙二酸中的一种或几种。

3.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，其特征在于：所述的醇是甲醇、乙醇或丙醇中的一种或几种。

4.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，其特征在于：步骤（一）中所述醇的添加量为有机酸铟与醇反应所需量的1～4倍。

5.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，其特征在于：步骤（三）中干燥后得到的粉末水份含量在5%以下。