[发明专利]一种夹持晶圆的部件及机构

权利要求书

1.一种夹持晶圆的部件，其特征在于，所述部件包括：

“匚”型安装座；

沿竖直方向置于所述安装座的容置空间内的多个抵接件；

沿竖直方向排列的多个弹性构件组；

其中，每个弹性构件组均对应一个抵接件；且所述每个弹性构件组中的每个弹性构件连接所述安装座的竖直内壁以及所述每个弹性构件组对应的抵接件靠近所述安装座竖直内壁的内侧；当多个部分抵接件的外侧与所述晶圆的周缘接触时，所述多个部分抵接件相应的弹性构件组基于所述晶圆的挤压发生形变而产生弹性回复力，所述多个部分抵接件基于所述弹性回复力压靠在所述晶圆的周缘且所述部分抵接件的外侧形成与所述晶圆的周缘纵向形状相配合的接触区。

2.根据权利要求1所述的部件，其特征在于，所述多个抵接件之间的间隙尺寸小于所述晶圆的厚度。

3.根据权利要求1所述的部件，其特征在于，当所述安装座处于第一位置时，所述抵接件未与所述晶圆接触，所述多个弹性构件组均处于自由状态；当所述安装座处于第二位置时，所述抵接件中的部分抵接件外侧与所述晶圆的周缘相接触。

4.根据权利要求1所述的部件，其特征在于，所述每个弹性构件组包括两个弹性构件。

5.根据权利要求1所述的部件，其特征在于，所述抵接件的材质包括有机塑料制品、特氟龙材质或者尼龙材质。

6.根据权利要求1所述的部件，其特征在于，所述抵接件的数量为3。

7.一种夹持晶圆的机构，其特征在于，所述机构包括：支撑组件以及在所述支撑组件上均匀环绕设置的多个如权利要求1至6任一项所述的夹持晶圆的部件；其中，所有夹持晶圆的部件处于同一水平面且所有夹持晶圆的部件开口朝向所述同一水平面的环绕中心。

8.根据权利要求7所述的机构，其特征在于，所述支撑组件包括V型托盘以及与所述夹持晶圆的部件数量一致且对应的多个移位器；其中，所述V型托盘包括托盘主体以及由所述托盘主体向同一侧延伸的两个托盘臂；所述两个托盘臂上表面各设置一所述夹持晶圆的部件；所述托盘主体上表面设置两个所述夹持晶圆的部件；每个所述移位器相应于所述夹持晶圆的部件设置在所述V型托盘上表面并控制相应的夹持晶圆的部件在第一位置与第二位置间移动；所述夹持晶圆的部件处于所述第一位置时未与所述晶圆接触；所述夹持晶圆的部件处于所述第二位置时，所述夹持晶圆的部件中的部分抵接件的外侧与所述晶圆的周缘接触，且所述夹持晶圆的部件中所述部分抵接件相应的弹性构件组基于所述晶圆的挤压发生形变而产生弹性回复力，所述部分抵接件基于所述弹性回复力压靠在所述晶圆的周缘且所述部分抵接件的外侧形成与所述晶圆的周缘纵向形状相配合的接触区。

9.根据权利要求7所述的机构，其特征在于，所述支撑组成包括基台以及与所述夹持晶圆的部件数量一致且对应的卡爪；其中，所有卡爪均匀设置于所述基台顶部的轴向外围，每个所述卡爪顶端对应设置一所述夹持晶圆的部件，每个所述卡爪均能够沿背离所述同一水平面的环绕中心的方向移动至第一位置，每个所述卡爪均能够沿朝向所述同一水平面的环绕中心的方向移动至第二位置；所述夹持晶圆的部件处于所述第一位置时未与所述晶圆接触；所述夹持晶圆的部件处于所述第二位置时，所述夹持晶圆的部件中的部分抵接件的外侧与所述晶圆的周缘接触，且所述夹持晶圆的部件中所述部分抵接件相应的弹性构件组基于所述晶圆的挤压发生形变而产生弹性回复力，所述部分抵接件基于所述弹性回复力压靠在所述晶圆的周缘且所述部分抵接件的外侧形成与所述晶圆的周缘纵向形状相配合的接触区。