[发明专利]聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置及制备方法

权利要求书

1.一种聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：包括腔体，腔体上有能够和外界完全隔绝的可封闭门，腔体侧壁内预埋了若干冷却循环水管，腔体内设有升降台，升降台上设有晶圆支架，晶圆支架沿垂直方向设有多个能够单独对晶圆进行加热的加热盘，腔体上还设有氮气进口、气压检测装置、温度检测装置和真空泵，温度检测装置为温度传感器，且温度传感器的检测方向沿斜下的方向朝向任一晶圆支架上的加热盘。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：所述温度传感器为红外温度传感器。

3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：氮气进口连接氮气生成器，氮气生成器、气压检测装置和真空泵连接到同一个控制装置。

4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：温度检测装置、冷却循环水管和加热盘连接到控制装置。

5.根据权利要求1所述的聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：所述温度传感器的检测方向和水平面夹角为45°。

6.根据权利要求3或4所述的聚酰亚胺图形化薄膜制备用聚合固化装置，其特征在于：所述控制装置为89C51单片机。

7.一种如权利要求1所述的聚酰亚胺图形化薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)机械手将多个晶圆夹持并输送到腔体内的各加热盘上；

2)关闭可封闭门，对腔体进行抽真空，使得腔体内气压达到mTorr量级的真空状态；

3)以0.5～4℃/s的速度对腔体进行升温，加热到80℃；

4)腔体内保持80℃的状态下60～600s；

5)以0.02～0.1℃/s的速度对腔体进行升温，加热到230℃；

6)腔体内保持230℃的状态下1800s；

7)以2～5℃/s的速度对腔体进行降温，降至室温。

8.根据权利要求7所述的聚酰亚胺图形化薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤2)～步骤6)中，腔体内始终保持mTorr量级的真空状态。

9.根据权利要求7所述的聚酰亚胺图形化薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤2)～步骤6)中，氮气生成器提供氮气的过程中，同时开启真空泵进行抽真空，使得腔体内始终保持mTorr量级的动态平衡的真空状态。