[发明专利]一种光学相控阵器件及扫描方法

权利要求书

1.一种光学相控阵器件，其特征在于，包括功分器、相位补偿区、移相器以及阵列天线；

所述功分器将一束光分为等功率的多路光，分别进入等间距排列的多根波导中传输；

所述相位补偿区用于进行光程补偿，使得各路光到达所述阵列天线的初始相位相同；

所述移相器作用于等间距排列的多根波导，改变相邻波导之间的相位差；

每根波导上制作相同周期和占空比的光栅，从而形成所述阵列天线；所述阵列天线中相邻波导之间有光阻隔结构。

2.如权利要求1所述的光学相控阵器件，其特征在于，所述相位补偿区包括若干个锥形波导、弯曲波导和直波导，通过改变其中直波导的长度单独对每根波导进行光程补偿。

3.如权利要求1所述的光学相控阵器件，其特征在于，所述移相器通过热光效应或者电光效应调控每根波导的折射率，从而改变相邻波导间的相位差。

4.如权利要求1所述的光学相控阵器件，其特征在于，所述功分器是星型耦合器、级联Y分支或者多模干涉仪。

5.如权利要求1所述的光学相控阵器件，其特征在于，所述光阻隔结构为金属条或空气槽。

6.如权利要求1-4任一项所述的光学相控阵器件，其特征在于，所述功分器、相位补偿区以及阵列天线采用绝缘体上硅、氮化硅或铌酸锂制成。

7.一种基于权利要求1-6任一项所述光学相控阵器件的扫描方法，其特征在于，包括：

通过所述移相器控制相邻波导之间的相位差，控制干涉光的方向，实现一维扫描；

同时通过调节入射光波长使得光栅的衍射角度发生变化，实现二维扫描。