[发明专利]一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法

权利要求书

1.一种减反膜的厚度测量装置，其特征在于，包括：

样品台(3)，具有容纳太阳能电池(7)的凹腔；

激光发射器(2)，其激光发射方向朝向所述太阳能电池(7)表面的减反膜设置；

电流测试仪(4)，其正极、负极分别与所述太阳能电池(7)的相对两侧电连接。

2.根据权利要求1所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述电流测试仪(4)的正极连接有第一电极贴片，所述电流测试仪(4)的负极连接有第二电极贴片，所述第一电极贴片和所述第二电极贴片适于贴附在所述太阳能电池(7)的表面。

3.根据权利要求1所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，还包括激光接收器(5)，其激光接收方向朝向所述太阳能电池(7)表面的减反膜设置；所述激光发射器(2)发射的激光经过所述减反膜反射后能被所述激光接收器(5)接收，所述激光接收器(5)连接有光强测试装置。

4.根据权利要求3所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述激光发射器(2)和所述激光接收器(5)均安装在所述样品台(3)上，所述激光发射器(2)和所述激光接收器(5)的角度范围在0－90度之间。

5.根据权利要求1－4中任意一项所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述样品台(3)为镀膜设备内承载太阳能电池(7)进行镀膜的载台，所述样品台(3)上凹腔的开口面向镀膜设备内的蒸发源(6)。

6.根据权利要求5所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述凹腔的开口侧设有挡板(1)，所述挡板(1)用于遮挡在所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸发源(6)之间。

7.根据权利要求6所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述挡板(1)连接有驱动件；所述挡板(1)在所述驱动件的作用下具有遮挡在所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸发源(6)之间的减反膜测试状态，以及从所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸发源(6)之间移出的减反膜镀膜状态。

8.根据权利要求5所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述样品台(3)为可绕自身轴线旋转的旋转台。

9.一种原位监控减反膜生长的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，在太阳能电池(7)表面镀减反膜，镀膜持续时间为t₁；

S2，对太阳能电池(7)进行遮挡，利用光束照射太阳能电池(7)表面上的减反膜，测量太阳能电池(7)产生的电流i₁大小；

S3，重复n次上述S1和S2的步骤，得到电流大小与镀膜时间的n+1组数据对，其中，n为大于或等于2的自然数；

S4，根据得到电流大小与镀膜时间的n+1组数据对，通过线性拟合，得到电流大小和镀膜时间的电流－时间函数曲线；

S5，根据得到的电流－时间函数曲线，预测电流－时间函数曲线中的电流最大值i_max，以及与电流最大值i_max对应的时间点t₀；

S6，继续在太阳能电池(7)表面镀减反膜，镀膜持续时间为t₀－(n+1)t₁，得到所需厚度的减反膜。

10.根据权利要求9所述的原位监控减反膜生长的方法，其特征在于，

在S2步骤中，在利用光束照射太阳能电池(7)表面上的减反膜之后还包括：接收太阳能电池表面上减反膜反射的光束，测量接收光束的光强I₁大小；

在S3步骤中，重复n次上述S1和S2的步骤，得到光强大小与镀膜时间的n+1组数据对；

在S3步骤之后，还包括：根据得到光强大小与镀膜时间的n+1组数据对，通过线性拟合，得到光强大小和镀膜时间的光强－时间函数曲线；预测光强－时间函数曲线中的光强最小值I_min，以及与光强最小值I_min对应的时间点T₀；

在步骤S6之前，还包括：判断时间点T₀和断时间点t₀的绝对差值，若绝对差值在预设范围内，则执行步骤S6；若绝对差值不在预设范围内，则返回步骤S3；

其中，步骤S6中的减反膜的生长条件与步骤S1中的减反膜的生长条件相同。