[发明专利]一种双面晶圆外观缺陷检测机

权利要求书

1.一种双面晶圆外观缺陷检测机，该检测机是一种多层结构体，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上分别设置有A面Y轴运动模组(2)、B面Y轴运动模组(4)和B面X轴运动模组(6)，所述A面Y轴运动模组(2)上设置有A面X轴运动模组(3)，所述A面X轴运动模组(3)上设置有A面视觉检测机构(7)，所述B面X轴运动模组(6)上设置有B面视觉检测机构(8)，所述机架(1)上位于所述A面视觉检测机构(7)和所述B面视觉检测机构(8)之间设置有传输装置(5)。

2.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述A面Y轴运动模组(2)包括导轨(11)、限位件(14)、传动电机(10)、丝杆(13)和固定件(12)，所述导轨(11)安装在所述机架(1)上端的两侧，所述传动电机(10)安装在机架(1)上、靠近其中一根导轨(11)的端部，所述固定件(12)安装在机架(1)上、正对着所述传动电机(10)，所述丝杆(13)穿过所述A面X轴运动模组(3)的底部，并且所述丝杆(13)的一端与所述传动电机(10)固定连接，一端与所述固定件(12)滑动连接，所述限位件(14)分别安装在另一根导轨(11)的两端，所述A面X轴运动模组(3)与所述导轨(11)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述A面X轴运动模组(3)包括滑动基座(15)、丝杆(13)、安装在滑动基座(15)端部的传动电机(10)以及安装在滑动基座(15)上的导轨(11)，所述丝杆(13)穿过所述A面视觉检测机构(7)，并且所述丝杆(13)的一端与所述传动电机(10)固定连接，一端与所述滑动基座(15)滑动连接，所述A面视觉检测机构(7)安装在所述滑动基座(15)上并且与所述导轨(11)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述B面Y轴运动模组(4)包括安装在所述机架(1)中部两侧的传动组件(18)，其中一个传动组件(18)的端部设置有传动电机(10)，所述传动电机(10)与所述传动组件(18)上的丝杆(13)齿轮连接，另一个传动组件(18)的端部设置有手动拨轮(19)，所述手动拨轮(19)与所述传动组件(18)上的丝杆(13)固定连接，所述传输装置(5)的两端分别与所述传动组件(18)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述B面X轴运动模组(6)包括安装在机架(1)上的固定底座(24)、安装在固定底座(24)端部的传动电机(10)以及安装在固定底座(24)上的丝杆(13)和导轨(11)，所述丝杆(13)穿过所述B面视觉检测机构(8)，并且所述丝杆(13)的一端与所述传动电机(10)固定连接，一端与所述固定底座(24)滑动连接，所述B面视觉检测机构(8)安装在固定底座(24)上且与所述导轨(11)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述A面视觉检测机构(7)和所述B面视觉检测机构(8)都包括有微分调节组件(16)和安装在微分调节组件(16)上的视觉相机组件(17)。

7.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述传输装置(5)包括轨道组件(20)、同步带(23)以及安装在轨道组件(20)外侧的传动电机(10)和安装在轨道组件(20)内侧的多个同步轮(22)，所述传动电机(10)上设置有传动轮(21)，所述同步轮(22)通过同步带(23)和所述传动轮(21)连接。

8.根据权利要求1所述的一种双面晶圆外观缺陷检测机，其特征在于，所述传输装置(5)上还设置有夹板机构(9)。