[发明专利]一种碳化硅外延炉反应室

权利要求书

1.一种碳化硅外延炉反应室，其特征在于：包括石英管(1)、第一密封法兰(2)、第二密封法兰(3)以及密封件(4)，所述石英管(1)外周设有水冷夹套(11)且内部设有反应装置(12)，所述第一密封法兰(2)套设于所述石英管(1)外周并与所述水冷夹套(11)抵接，所述第二密封法兰(3)与所述第一密封法兰(2)相连，所述密封件(4)夹设于第一密封法兰(2)与第二密封法兰(3)之间，所述第二密封法兰(3)内设有隔热筒(31)，所述隔热筒(31)端部与所述反应装置(12)抵接。

2.根据权利要求1所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述隔热筒(31)内设有环形石墨碳毡(5)，所述密封件(4)位于所述环形石墨碳毡(5)的外周。

3.根据权利要求2所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述环形石墨碳毡(5)的内径由中部向两侧逐渐增加。

4.根据权利要求1所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述隔热筒(31)为磨砂石英筒。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述隔热筒(31)外周套设有保护环(6)，所述保护环(6)端部与所述石英管(1)端部抵接。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述第二密封法兰(3)上设有尾气石墨筒(7)，所述尾气石墨筒(7)与所述隔热筒(31)连通。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的碳化硅外延炉反应室，其特征在于：所述第一密封法兰(2)和第二密封法兰(3)均为水冷法兰。