[发明专利]一种ICP光谱仪光学系统

权利要求书

1.一种ICP光谱仪光学系统，其特征在于，包括：

光室系统(10)；以及

透射前置光路组件(20)，所述透射前置光路组件(20)从首端到尾端依次设有第一双凸透镜(201)、第二双凸透镜(202)和第一入射狭缝(203)，所述第一入射狭缝(203)位于所述第二双凸透镜(202)的焦点处，复合光进入所述透射前置光路组件后，依次经过所述第一双凸透镜(201)、所述第二双凸透镜(202)和所述第一入射狭缝(203)后进入所述光室系统(10)的光路。

2.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述透射前置光路组件(20)首端的端部位于所述第一双凸透镜(201)的焦点处，所述第一双凸透镜(201)的焦距与所述第二双凸透镜(202)的焦距之和等于所述第一双凸透镜(201)与所述第二双凸透镜(202)距离的一半。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括光室壳体(110)，所述光室壳体(110)上开设有连接孔；所述透射前置光路组件(20)穿过所述连接孔与所述光室壳体(110)相连，所述透射前置光路组件(20)包括管状的透射壳体(210)，所述透射壳体(210)包括前透射壳体(211)、中透射壳体(212)和后透射壳体(213)，所述前透射壳体(211)、所述中透射壳体(212)和所述后透射壳体(213)依次采用插接的方式相连。

4.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括中阶梯光栅(121)和棱镜(122)，所述中阶梯光栅(121)与所述棱镜(122)的外部设有遮光罩(123)，所述遮光罩(123)上开设有供复合光入射以及出射的通光口。

5.根据权利要求4所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括第三转接件(120)，所述棱镜(122)和所述中阶梯光栅(121)通过所述第三转接件(120)与所述光室壳体(110)连接。

6.根据权利要求4所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述中阶梯光栅(121)的闪耀角为70度。

7.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括快门单元(160),所述快门单元(160)上设有光阑，所述光阑位于复合光的传播路径上。

8.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括棱镜(122)，所述棱镜(122)表面设有紫外增透膜。

9.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室系统(10)包括准直镜(130)和聚焦镜(140)，所述准直镜(130)为非球面准直镜(130)，所述聚焦镜(140)为非球面聚焦镜(140)。

10.根据权利要求1所述的ICP光谱仪光学系统，其特征在于：所述光室壳体(110)的内壁上设有吸光材料。