[发明专利]脱模方法及脱模装置

说明书

本发明公开一种脱模方法及脱模装置，该脱模方法包括：将压印完毕的压印模板及压印基体整体固设于安装台；获取所述压印模板及所述压印基体分离的优选脱模方向，驱动安装台相对脱模件旋转预设角度使所述优选脱模方向与所述脱模件的移动方向相匹配；驱动所述压印模板相对所述压印基体翘起，所述压印基体设置于所述压印模板和所述安装台之间；驱动脱模件伸入所述压印模板和所述压印基体之间并驱动所述脱模件相对安装台移动以使所述压印模板和所述压印基体沿所述优选脱模方向分离。该脱模方法及脱模装置在使用时可以降低压印后的图像在脱模过程中出现撕裂的概率，提升产品的良率。

技术领域

本发明涉及脱模技术领域，特别是涉及一种脱模方法及脱模装置。

背景技术

纳米压印技术被认为是最具前景的微纳制造技术之一，可以突破光学曝光衍射效应的限制，进行纳米结构的加工，最有可能成为未来微纳光子学和电子学行业的主要技术，可应用于微纳结构功能器件的低成本、大规模生产，尤其是在光学器件的制备中更具有独特的技术优势，也是目前应用最广泛的领域。

纳米压印技术的基本过程包括图形压印、图形传递以及压印模板脱模三个阶段，根据图形转移的方式，主要有热压印以及紫外压印两种方式，无论采用何种压印方式，压印工艺是完全将压印模板上的微纳米图案忠实地复制到基底材料之上。

然而，传统的脱模方式容易导致器件图形撕裂，致使产品的良率大大降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种脱模方法及脱模装置，以解决传统的脱模方式容易导致器件图形撕裂，致使产品的良率大大降低的问题。该脱模方法及脱模装置在使用时可以降低压印后的图像在脱模过程中出现撕裂的概率，提升产品的良率。

具体技术方案如下：

一方面，本申请涉及一种脱模方法，包括：

将压印完毕的压印模板及压印基体整体固设于安装台；获取所述压印模板及所述压印基体分离的优选脱模方向，驱动所述安装台相对脱模件旋转预设角度使所述优选脱模方向与所述脱模件的移动方向相匹配；

驱动所述压印模板相对所述压印基体翘起，所述压印基体设置于所述压印模板和所述安装台之间；

驱动脱模件伸入所述压印模板和所述压印基体之间并驱动所述脱模件相对安装台移动以使所述压印模板和所述压印基体沿所述优选脱模方向分离。

上述脱模方法在使用时，将压印完毕的压印模板及压印基体整体固设于安装台，随后获取所述压印模板及所述压印基体分离的优选脱模方向，该优选脱模方向的设置可以使得降低压印后的图像在脱模过程中出现撕裂的概率，然后驱动安装台相对脱模件旋转预设角度使所述优选脱模方向与所述脱模件的移动方向相匹配，随后驱动所述压印模板相对所述压印基体翘起，最后驱使所述脱模件伸入所述压印模板和所述压印基体之间并驱动所述脱模件相对安装台移动以使所述压印模板和所述压印基体沿所述优选脱模方向分离，进而完成脱模，且图案不会损坏或损坏率低，提升产品的良率。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，在驱动所述安装台相对脱模件旋转前，还包括步骤：在压印模板上设置标记。

在其中一个实施例中，所述预设角度的计算方式为：

获取所述压印模板上标记的位置信息，根据所述位置信息和所述优选脱模方向计算得到所述预设角度。

在其中一个实施例中，驱动脱模件伸入所述压印模板和所述压印基体之间并驱动所述脱模件相对安装台移动以使所述压印模板和所述压印基体沿所述优选脱模方向分离的步骤包括：

驱动脱模件移动使所述压印模板中相对所述压印基体翘起的部分伸入所述脱模件的夹持口中，驱动脱模件伸入所述压印模板和所述压印基体之间并驱动所述脱模件沿所述优选脱模方向相对安装台移动以将所述压印模板和所述压印基体分离。