[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法和机器人皮肤、可穿戴设备

权利要求书

1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：

柔性基层，包括相对设置的第一柔性基层和第二柔性基层；

电极阵列，包括第一电极和第二电极，所述第一电极平行间隔设于所述第一柔性基层上朝向所述第二柔性基层的一侧；所述第二电极平行间隔设于所述第二柔性基层上朝向所述第一柔性基层的一侧；所述第一电极和所述第二电极交叉设置；

压敏单元阵列，包括若干碳纳米管膜；各所述碳纳米管膜夹设于所述第一电极和所述第二电极之间的交叉处。

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述碳纳米管膜的厚度为50nm～1mm。

3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一柔性基层上设有第一安装槽，用于安装所述第一电极和所述压敏单元阵列；所述第二柔性基层上设有第二安装槽，用于安装所述第二电极；所述第一电极设于所述第一安装槽内，所述压敏单元阵列设于所述第一安装槽内所述第一电极上；所述第二电极设于所述第二安装槽内。

4.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一柔性基层和/或所述第二柔性基层的材质选自柔性绝缘材料；优选地，所述柔性绝缘材料选自硅橡胶、硫橡胶、聚乙烯、聚酰胺、聚四氟乙烯中的至少一种。

5.根据权利要求4述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一柔性基层和/或所述第二柔性基层的厚度为0.5～2mm。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的方向垂直；优选地，所述第一电极和/或所述第二电极为铝箔、铜箔、锡箔中的至少一种。

7.权利要求1至6中任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、准备第一柔性基层，在所述第一柔性基层上平行间隔设置第一电极；准备第二柔性基层，在所述第二柔性基层上平行间隔设置第二电极；

S2、将所述第二柔性基层上设有所述第二电极的一侧朝向所述第一柔性基层上设有所述第一电极的一侧正对放置，使第一电极和第二电极的方向交叉；在所述第一电极和所述第二电极之间的交叉处固定设置碳纳米管膜，而后进行封装。

8.根据权利要求7所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，采用3D打印技术在所述第一柔性基层上平行间隔设置第一电极，以及在所述第二柔性基层上平行间隔设置第二电极；和/或，步骤S2中，采用3D打印技术在所述第一电极和所述第二电极之间的交叉处设置碳纳米管膜。

9.一种机器人皮肤，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的柔性压力传感器。

10.一种可穿戴设备，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的柔性压力传感器。